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徐泽

作品数：17 被引量：0H指数：0
供职机构：浙江大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：化学工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 13篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 5篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 5篇反应液
  • 3篇有机相
  • 3篇蒸馏
  • 3篇直拉硅
  • 3篇三废排放
  • 3篇羟基
  • 3篇回收
  • 3篇硅片
  • 3篇苯
  • 3篇三废
  • 2篇单晶
  • 2篇单晶硅
  • 2篇丁醛
  • 2篇对苯二胺
  • 2篇对硝基苯胺
  • 2篇异丁醛
  • 2篇引发剂
  • 2篇蒸馏回收
  • 2篇直拉单晶硅
  • 2篇弱酸盐

机构

  • 17篇浙江大学
  • 1篇四川之江高新...

作者

  • 17篇徐泽
  • 12篇钱超
  • 12篇陈新志
  • 3篇杨德仁
  • 3篇马向阳
  • 2篇王彪
  • 1篇阮建成
  • 1篇张琪
  • 1篇周少东
  • 1篇叶小明

传媒

  • 1篇化学反应工程...
  • 1篇化学工程与技...

年份

  • 5篇2020
  • 4篇2019
  • 3篇2018
  • 1篇2017
  • 3篇2012
  • 1篇2011
共 17 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
快速热处理对直拉单晶硅缺陷的调控
集成电路特征线宽的不断减小对直拉硅片的杂质与缺陷控制提出了愈来愈高的要求。自从快速热处理被用于直拉硅片的内吸杂工艺以来,人们在不断探索它在直拉硅片的杂质与缺陷控制中的应用。本文研究了基于氮气氛下高温快速热处理对直拉硅片内...
徐泽
关键词：直拉硅氧沉淀氮层错
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异丁酰苯的制备方法
本发明公开了一种异丁酰苯的制备方法，包括以下步骤：于惰性气体的保护下，向有机溶剂中加入镁屑，升温至回流后再滴加溴苯于回流条件下反应2.0～4.0小时；再加入异丁腈，于回流条件下反应1～2.5小时；将所得的反应液过滤，回收...
陈新志徐泽曹忠钱超
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硝基苯胺类物质水解成酚的方法
本发明公开了一种硝基苯胺类物质水解成酚的方法，依次包括以下步骤：将作为原料的硝基苯胺类物质、催化剂、无机碱以及作为溶剂的水混合，加入至反应釜中密封后，升温至100～190℃反应2～8h；所得的反应液先降至室温，然后调节p...
陈新志徐泽钱超
文献传递
一种消除掺氮直拉单晶硅片中原生氧沉淀的方法
本发明公开了一种消除掺氮直拉单晶硅片中原生氧沉淀的方法，包括：在纯度大于99.99％的氩气气氛下，对掺氮直拉单晶硅片进行快速热处理，然后自然冷却；其中，所述快速热处理的升温速率为10-100℃/s，快速热处理的最高温度为...
马向阳徐泽杨德仁
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氯代对苯二胺的合成方法
本发明公开了一种氯代对苯二胺的合成方法，依次包括以下步骤：将邻氯对硝基苯胺、金属醇盐、作为溶剂的醇加入至反应釜中混合后，升温至100～190℃反应2～6h；反应所得物降至室温，蒸馏回收反应液中的醇溶剂，回收醇溶剂后的剩余...
陈新志徐泽钱超
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直拉硅片的内吸杂工艺
本发明公开了一种直拉硅片的内吸杂工艺，包括：(1)在氮气氛下，将直拉硅片以50～100℃/秒的速率升温至1200～1250℃，维持30～150秒，然后以5～50℃/秒的速率冷却至800～1000℃，接着自然冷却；(2)将...
马向阳徐泽王彪杨德仁
2,6-二氯苯酚的合成方法
本发明公开了一种2,6‑二氯苯酚的合成方法，包括以下步骤：在有机溶剂中，以2,2,6,6‑四氯环己酮为原料与有机碱在回流条件下进行反应，得2,6‑二氯苯酚；将步骤1)反应结束所得的反应液进行过滤，滤液经减压蒸馏至蒸干，得...
陈新志徐泽钱超
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2-甲基-1-苯基-1-丙醇的制备方法
本发明公开了一种2‑甲基‑1‑苯基‑1‑丙醇的制备方法，依次包括以下步骤：于惰性气体的保护下，向有机溶剂中加入镁屑及添加剂，升温至回流后再滴加氯苯于回流条件下反应，再滴加异丁醛继续于回流条件下反应；将所得的反应液过滤，从...
陈新志徐泽钱超
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氯代对苯二胺的合成方法
本发明公开了一种氯代对苯二胺的合成方法，依次包括以下步骤：将邻氯对硝基苯胺、金属醇盐、作为溶剂的醇加入至反应釜中混合后，升温至100～190℃反应2～6h；反应所得物降至室温，蒸馏回收反应液中的醇溶剂，回收醇溶剂后的剩余...
陈新志徐泽钱超
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直拉硅片的内吸杂工艺
本发明公开了一种直拉硅片的内吸杂工艺，包括：(1)在氮气氛下，将直拉硅片以50～100℃/秒的速率升温至1200～1250℃，维持30～150秒，然后以5～50℃/秒的速率冷却至800～1000℃，接着自然冷却；(2)将...
马向阳徐泽王彪杨德仁
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