徐义刚
- 作品数：16 被引量：34H指数：3
- 供职机构：浙江大学信息学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金霍英东青年教师基金浙江省自然科学基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程一般工业技术更多>>
- 数片硅同时自停止腐蚀技术研究
- 1996年
- 本文从理论和实验上证明了数片硅同时自停止腐蚀的可行性。结果表明:KOH溶液非常适用于该技术;当几片硅同时进行电化学腐蚀时不会互相影响;而且当它们的开路电位(OCP)、钝化电位(PP)以及各片硅腐蚀完成的时间均有差别时,都能有效地实现自停止。实验以4片硅同时自停止腐蚀为例,最后所得的4片硅膜厚相差不到1μm。
- 周伟勤徐义刚王跃林
- 关键词：电化学腐蚀
- 利用砷化镓霍尔器件制造角度传感器被引量：3
- 1991年
- 一、引言 角度传感器被广泛地用于汽车工业、角度检测、工业自动化控制、数控数显机床及其它领域。例如:在汽车工业中,为了记录下汽车的行驶轨迹,必须知道汽车行驶时的拐弯角度,而检测汽车的拐弯角度就需要角度检测传感器。
- 王跃林蒋睿徐义刚
- 关键词：角度传感器砷化镓
- 离子交换玻璃波导1×8多模干涉光功分器的研制被引量：14
- 2002年
- 利用三维有限差分光束传输法 ( 3 D-FDBPM)对渐变折射率波导中自镜象效应进行分析与模拟 ,在此基础上 ,利用 K+ -Na+ 离子交换在国产 K9光学玻璃上制作了 1× 8多模干涉( MMI)光功分器 ,测试表明 ,该器件初步实现了光均分功能 .
- 马慧莲王明华李锡华徐义刚宋南辛
- 关键词：离子交换玻璃波导光功分器多模干涉集成光学
- 脊形波导气流传感器制作
- 1996年
- 脊形波导气流传感器制作王跃林，金仲和，丁纯，徐义刚（浙江大学信电系）光纤作为传感元件已为人们广泛接受并得到相当的重视，脊形光波导与光纤一样是一种光波导，当然也能用作传感元件。本文用微机械技术解决了脊形波导与机械结构间的工艺兼容性问题，制作了一种用波导...
- 王跃林金仲和丁纯徐义刚
- 关键词：脊形波导气流传感器干法刻蚀国家自然科学基金传感元件光敏器件
- 微型振动式真空计的设计与制作
- 1996年
- 微型振动式真空计的设计与制作金仲和，王跃林，丁纯，徐义刚（浙江大学信电系）利用气体分子的粘滞性可测量真空度［‘ｊ，以前人们曾发展了多种粘滞性真空计，如热偶规、转盘式真空计、振动膜真空规等。然而除了热偶规外都未被广泛应用，其主要原因在于后两种器件制作难...
- 金仲和王跃林丁纯徐义刚
- 关键词：真空计气体分子谐振子自然科学基金真空度各向异性腐蚀
- 渐变折射率分布MMI型光功分器的研制被引量：1
- 2005年
- 以离子交换玻璃波导为例详细分析了渐变折射率分布波导中的自镜像效应,并完成了1×8渐变折射率分布MMI光功分器的设计和特性分析。在理论分析和设计的基础上完成了器件的制作,包括在国产K9光学玻璃上利用K+-Na+离子交换技术和以苯甲酸为交换源在铌酸锂基片上利用质子交换工艺分别完成1×8MMI光功分器的制作。测试表明器件基本实现了光均分功能。
- 王明华孙一翎马慧莲李锡华徐义刚宋南辛
- 关键词：多模干涉光功分器MMI型离子交换技术玻璃波导质子交换
- 静电驱动硅一体化微机械谐振器被引量：2
- 1995年
- 本文利用硅硅直接键合技术引入了一种完全采用单晶硅制作的静电激励的微机械谐振器，文中对静电激励力进行了分析，实测表明该谐振器频率为５．８６ｋＨｚ，品质因数在１０Ｐａ的低真空下即可达６００以上。
- 金仲和王跃林徐义刚丁纯陈锋
- 关键词：静电力谐振器微机械一体化频率响应
- 利用砷化镓霍尔器件的角度检测传感器
- 王跃林蒋睿徐义刚
- 关键词：砷化镓传感器
- 硅片直接键合技术与传感器结构研究
- 王跃林徐义刚胡鑫松
- 关键词：半导体传感器硅键合工艺压力传感器金属切削
- 硅微机械谐振器特性与激励光斑位置关系的研究被引量：6
- 1998年
- 阐述了对硅悬臂梁谐振子进行光激励研究的结果。结果表明，谐振子的振幅与激励光斑的位置以及所激励的模态有关。在模态的两节点的中心位置进行激励，可得到最大的振幅，而且振幅随着激励光斑偏离中心位置而下降；在节点处激励时，振幅达到最小。上述结论也适用于其它点热源激励的微机械谐振器。
- 喻浩丁纯王跃林王亚强金仲和徐义刚
- 关键词：悬臂梁谐振子光激励微机械
