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刘博
作品数:
3
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供职机构:
西安理工大学自动化与信息工程学院电子工程系
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相关领域:
电子电信
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合作作者
陈治明
西安理工大学自动化与信息工程学...
封先锋
西安理工大学自动化与信息工程学...
张群社
西安理工大学自动化与信息工程学...
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SIC单晶
1篇
SIC晶体
机构
3篇
西安理工大学
作者
3篇
封先锋
3篇
陈治明
3篇
刘博
2篇
张群社
传媒
3篇
第十四届全国...
年份
3篇
2006
共
3
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PVT法SiC单晶生长过程中的晶型变化
本文报导对采用PVT法生长的6H-SiC单晶体切片的晶型和晶体结构的Raman光谱和X射线衍射谱分析.结果表明,采用含一定比例同质异晶型(Polytype)的6H-SiC籽晶生长的单晶体仍含有该种同质异晶型,但其比例在生...
刘博
陈治明
封先锋
关键词:
SIC
单晶生长
文献传递
大直径6H-SiC晶体PVT法生长感应加热系统有限元分析
本文采用有限元分析法系统地研究了大尺寸6H-SiC晶体PVT法生长装置中感应加热线圈的不同高度和匝间距对生长腔、粉源以及生长晶体温度场的影响;分析比较了线圈取不同高度和匝间距时晶体生长面径向温度梯度的变化.结果表明:在中...
张群社
陈治明
封先锋
刘博
关键词:
温度场
温度梯度
有限元
文献传递
粉源对大直径SiC晶体生长的影响
本文研究SiC粉料的空隙率对晶体生长的影响.分析比较了当粉料取不同空隙率时粉料中以及生长腔内温度分布的异同,并结合实验研究了生长腔内等温线的不同形状和生长晶体表面形貌之间的关系.数值计算和实验结果均表明,生长腔内等温线的...
张群社
陈治明
封先锋
刘博
关键词:
温度场
空隙率
晶体生长
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