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冷兴龙

作品数：38 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 34篇专利
  • 4篇期刊文章

领域

  • 10篇电子电信
  • 5篇理学
  • 4篇机械工程
  • 2篇自动化与计算...
  • 2篇一般工业技术
  • 1篇金属学及工艺
  • 1篇文化科学

主题

  • 9篇原子层沉积
  • 6篇封装
  • 6篇薄膜封装
  • 5篇前驱体
  • 5篇激光
  • 4篇碘化
  • 4篇碘化亚铜
  • 4篇动镜
  • 4篇真空干燥箱
  • 4篇铜源
  • 4篇无机
  • 4篇蓝宝
  • 4篇蓝宝石
  • 4篇激光干涉
  • 4篇白光干涉
  • 4篇半导体
  • 3篇多层膜
  • 3篇有机半导体
  • 3篇阵列
  • 3篇探测器

机构

  • 38篇中国科学院微...
  • 2篇中国科学院
  • 1篇华南理工大学
  • 1篇中国科学院大...

作者

  • 38篇冷兴龙
  • 35篇夏洋
  • 26篇李楠
  • 26篇赵丽莉
  • 21篇屈芙蓉
  • 21篇刘涛
  • 17篇刘键
  • 15篇卢维尔
  • 8篇刘杰
  • 7篇景玉鹏
  • 7篇李超波
  • 2篇刘俊标
  • 2篇吴茹菲
  • 1篇胡跃明

传媒

  • 1篇半导体技术
  • 1篇半导体光电
  • 1篇电子与封装
  • 1篇传感器与微系...

年份

  • 4篇2024
  • 4篇2023
  • 5篇2022
  • 16篇2021
  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 3篇2015
  • 2篇2014
  • 2篇2013
共 38 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪
一种保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪，包括：激光干涉子系统及其探测单元、白光干涉子系统及其探测单元；所述激光干涉子系统及其探测单元，包括激光器、动镜、保偏反射聚焦模块、分束器和激光探测器；所述白光干涉子系统及其探测单...
王博雨刘涛张凌云王玥陈楠冷兴龙李楠赵丽莉刘键景玉鹏何萌夏洋
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一种薄膜材料结晶的装置和方法
本发明公开了一种薄膜材料结晶的装置和方法，通过腔室；第一管路，所述第一管路与所述腔室的一端连通，且所述第一管路通入第一前驱体进入所述腔室；第二管路，所述第二管路与所述腔室的一端连通，且所述第二管路通入第二前驱体进入所述腔...
明帅强卢维尔夏洋何萌冷兴龙李楠赵丽莉
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一种图案化有机半导体的制备方法及形变拉伸测试方法
本申请公开了一种图案化有机半导体的制备方法及形变拉伸测试方法，通过制备图案化硅柱以及镀铜膜的硅片；对所述图案化硅柱侧壁化学修饰，使所述图案化硅柱达到侧壁疏水顶端亲水状态；退浸润过程发生，毛细液桥自组织装使图案化微纳阵列结...
吴朋桦屈芙蓉夏洋江雷吴雨辰孙冰朔李楠李培源冷兴龙卢维尔赵丽莉刘涛何萌
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一种高阶模态的石英晶体谐振器加工方法及装置
本发明公开了一种高阶模态的石英晶体谐振器加工方法及装置，涉及石英晶体谐振器加工领域。所述方法包括：在石英晶片上下表面沉积第一预设厚度范围的第一金属、第二预设厚度范围的第二金属；获得下层电极；去除下层电极表面的光刻胶，在上...
许帆何萌刘涛冷兴龙李磊谭博仁张凌云夏洋李楠赵丽莉
一种石英晶体谐振器的加工方法及装置
本公开提供了一种石英晶体谐振器的加工方法，包括：S1，在石英晶片的第一表面和第二表面依次沉积多层金属并在最外侧表面涂覆光刻胶，其中，第一表面和第二表面为石英晶片上相对的两表面；S2，对步骤S1得到的第一表面和第二表面进行...
李磊刘涛张明烨王玥冷兴龙张凌云李楠赵丽莉何萌夏洋
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一种碘化亚铜薄膜的制备方法
本申请公开了一种碘化亚铜薄膜的制备方法，涉及半导体器件技术领域，所述方法包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石...
明帅强李楠赵丽莉何萌卢维尔夏洋文庆涛高雅增冷兴龙李培源屈芙蓉刘涛
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反射式近场光学偏振光谱仪
一种反射式近场光学偏振光谱仪，包括：入射光发生模块、探针扫描显微模块和出射光检测模块，其中，探测光在入射光发生模块中经过整形和调制，发出不同偏振状态的探测光，入射光束聚焦至探针扫描显微模块的探针针尖上，探测光与探针针尖和...
刘涛张凌云王玥陈楠李磊王博雨冷兴龙李楠赵丽莉景玉鹏刘键何萌夏洋
一种薄膜封装方法
本发明涉及一种薄膜封装方法，包括如下步骤：通过PECVD方法沉积有机功能层；通过脉冲流量PECVD方法沉积无机功能层，所述脉冲流量PECVD方法是将PECVD方法中的前驱体通过脉冲输入方式输入；沉积若干有机功能层和无机功...
刘杰刘键冷兴龙屈芙蓉李超波夏洋
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一种制备薄膜材料的样品台和方法
本发明公开了一种制备薄膜材料的样品台和方法，通过本体；第一硅片，所述第一硅片为第一尺寸的圆形硅片，且所述第一硅片设置在所述本体的上表面；第二硅片，所述第二硅片设置在所述第一硅片的下方，且所述第二硅片为第二尺寸的圆形硅片，...
孙冰朔屈芙蓉吴朋桦夏洋李培源冷兴龙
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一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法
本申请公开了一种掺杂的碘化亚铜薄膜的制备方法，包括:在原子层沉积反应腔室中放置衬底，将所述反应腔室抽真空并开始进行加热处理，其中，加热对象包括基底、反应腔室、管路、反应源；所述衬底包括硅、蓝宝石、玻璃中的一种；待所述加热...
明帅强赵丽莉李楠何萌卢维尔夏洋高雅增文庆涛李培源冷兴龙刘涛屈芙蓉
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