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韩轶

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子技术标准化研究院更多>>
相关领域：机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

机构

  • 1篇北京大学
  • 1篇中国电子技术...

作者

  • 1篇张大成
  • 1篇李博
  • 1篇韩轶

传媒

  • 1篇信息技术与标...

年份

  • 1篇2014
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硅基MEMS制造技术检测方法国际提案介绍
2014年
介绍了由我国提出的国际标准提案IEC?62047-25《硅基MEMS制造技术?微键合区剪切和拉压强度检测方法》的重要意义和主要技术内容。该标准对于微米级微小键合区的键合强度测量提供了通用、有效的方法。标准提出了拉压法和剪切法两种测试方法的测试流程。此外还介绍了MEMS理论基础、技术研究基础和国际上MEMS标准化的相关情况。
李博韩轶张大成
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