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陈修国
作品数:
157
被引量:33
H指数:3
供职机构:
华中科技大学
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发文基金:
国家自然科学基金
国家重大科学仪器设备开发专项
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相关领域:
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合作作者
刘世元
武汉颐光科技有限公司
张传维
武汉颐光科技有限公司
谷洪刚
华中科技大学
江浩
华中科技大学机械科学与工程学院...
石雅婷
华中科技大学机械科学与工程学院...
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2009
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一种消散斑装置、激光投影成像系统及激光照明成像系统
本发明公开了一种消散斑装置、激光投影成像系统及激光照明成像系统。所述装置包括:沿激光光路依次设置的第一汇聚透镜、旋转散射片组件、第二汇聚透镜、反射式光纤耦合器、多模光纤和振动光纤组件;所述第一汇聚透镜用于将激光发出的平行...
陈修国
宋黎宣
刘世元
陈超
盛胜
王才
刘硕
文献传递
一种用于小角X射线测量装置的校准装置及校准方法
本发明属于光学校准相关技术领域,其公开了一种用于小角X射线测量装置的校准装置及校准方法,校准装置包括标准样品架,标准样品架包括金属架体,以及设于所述金属架体上的距离校准样品、衰减样品块和多个荧光十字标记,所述金属架体设于...
陈修国
崔仁铎
刘世元
张家豪
李仲禹
马骏
一种纳米级尺寸结构测量方法及装置
本发明公开了一种纳米级尺寸结构测量方法及装置,可以同时测量纳米级尺寸结构宽度、深度、侧墙角等参数。本发明方法步骤如下:将白光光束经滤光、起偏后垂直投射到包含纳米级尺寸结构的样件表面;采集样件表面反射信号,计算得到纳米级尺...
刘世元
张传维
史铁林
陈修国
一种材料光学跃迁分析方法及系统
本发明属于材料测量表征研究领域,并具体公开了一种材料光学跃迁分析方法及系统,其首先确定待分析材料的介电函数谱,并计算介电函数谱关于激发光能量的二阶导数谱,对二阶导数谱进行临界点分析以获取材料的临界点分析结果图;然后绘制材...
谷洪刚
宋宝坤
刘世元
方明胜
陈修国
江浩
文献传递
基于灵敏度与线性相关分析的光学散射测量条件优化配置
纳米结构的光学散射测量主要由两个关键技术支撑,即正向光学特性建模和几何参数逆向提取[1].其中,正向求解是指依据已知的光学入射条件和几何参数尺寸,采用电磁场建模理论获得仿真光谱数据的过程;反向几何参数求解则是指运用库匹配...
董正琼
陈修国
石雅婷
张传维
刘世元
一种基于模型的激光超声测量光源参数优化方法及设备
本发明属于激光超声检测相关技术领域,其公开了一种基于模型的激光超声测量光源参数优化方法及设备,该方法包括以下步骤:(1)构建激光超声测量模型,包括光热激发模型、热声转换模型及声光测量模型;(2)基于光热激发模型及材料物理...
汤自荣
王中昱
闵菁
胡静
孙勇
陈修国
刘世元
光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法
本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法,可以对IC制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参数进行非接触、非破坏的测量。首先,通过仿真分析的手段,选出最优测量配置与最优等效介质模型;其次,将上述仿...
刘世元
石雅婷
陈修国
张传维
文献传递
一种二维材料复光导率确定方法
本发明属于二维材料测量领域,并具体公开了一种二维材料复光导率确定方法,其首先根据电磁波在待测二维材料中的传播效应确定对应的计算方式;对于传播效应弱的二维材料,将其等效为无限薄片层,将二维材料椭偏参数用其复光导率进行表示,...
刘世元
宋宝坤
谷洪刚
方明胜
郭正峰
陈修国
江浩
文献传递
一种复合波片光轴对准方法
本发明公开了一种复合波片光轴对准方法,首先,将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动,将另外一个单波片与旋转装置相连,使两个单波片之间产生相对转动;然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上,并用探测器探测从待对准复合波片上...
刘世元
谷洪刚
陈修国
张传维
李伟奇
杜卫超
文献传递
一种电磁散射建模中分离可变参数的快速算法
本发明属于光学测量相关技术领域,其公开了一种电磁散射建模中分离可变参数的快速算法,其包括以下步骤:(1)根据电磁散射建模的对象来确定包含可变参数的算子及参数域;(2)将所述参数域离散为采样点数目递增的N重采样网格,其中N...
陈修国
石雅婷
刘世元
陶泽
谭寅寅
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