李琪
- 作品数：121 被引量：174H指数：7
- 供职机构：中国计量科学研究院更多>>
- 发文基金：国家科技支撑计划国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：机械工程一般工业技术理学自动化与计算机技术更多>>
- 计量型扫描电子显微镜测控系统研究被引量：2
- 2016年
- 为了解决扫描电子显微镜（SEM）在100nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足，实现SEM测量值的量值传递与溯源，研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成，基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验，结果表明，该计量型SEM测控系统运行稳定可靠，且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10nm。
- 张瑞军高思田李伟陈本永施玉书李琪
- 关键词：计量学运动控制模块激光外差干涉图像采集与处理
- 具有毫米行程的二维纳米位移台
- 一种具有毫米行程的二维纳米位移台，其特征在于，包括剪切压电陶瓷叠堆、负载台、光滑支撑块、磁力预紧机构及底板，在底板的一侧设有三个呈三角形布置的剪切压电陶瓷叠堆，在三角形的中部设有磁力预紧机构，在剪切压电陶瓷叠堆的顶端设有...
- 高思田徐胜李琪
- 文献传递
- 微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法
- 本发明涉及一种微纳涂层多功能力学试验机及其使用方法，其中微纳涂层多功能力学试验机包括工作台和工件固定装置，工作台上固设有支撑座和液体储存箱，支撑座上设有移动块和驱动移动块沿横向往复移动的横向驱动装置，工件固定装置上方设有...
- 黄鹭孙淼巩合具高思田李琪李适贾鑫施玉书
- 文献传递
- 用于双探针原子力显微镜的定位平台的设计及实验验证被引量：5
- 2020年
- 针对双探针原子力显微镜的需求,设计了一种提供精确位移的大行程定位平台。采用柔性铰链和压电陶瓷致动器分别作为定位平台的导向机构和驱动机构。在X、Y和Z轴运动方向通过并联机构实现独立位移。对定位平台进行数学建模,分析和计算定位平台的工作刚度和固有频率,并进行了有限元仿真分析。以电容传感器作为位移测量单元构建了定位平台实验装置,并进行了实验验证。实验结果表明:定位平台在X与Y轴方向上拥有110μm的行程,分辨率为5 nm,在Z轴方向上拥有45μm的行程,分辨率为5 nm。
- 林之东高思田黄鹭李琪
- 关键词：计量学原子力显微镜分辨率柔性铰链
- 微纳米光学测量的严格耦合波分析方法被引量：4
- 2020年
- 在微纳米尺度光学测量领域中,严格耦合波(RCWA)方法将光看作空间传播的电磁波,然后应用麦克斯韦方程组电磁边界连续条件,求解电磁波前向和后向衍射模型,并测量对应的透射和反射。在RCWA仿真中,首先对被测对象应用分层电磁模型,划分成多层不同几何尺寸及介电常数叠加结构,然后应用传输矩阵法计量不同衍射级数的电磁场,最后对空间电场和磁场分量进行合成,从而得到纳米几何结构准确的衍射场。
- 李琪施玉书李伟黄鹭李适高思田张树
- 关键词：光学测量
- 工业CT探测尺寸误差的校准及误差分析被引量：12
- 2014年
- 针对工业CT探测尺寸误差的校准需求，提出一套基于标准球的校准工业CT探测尺寸误差的方法，并对引起探测尺寸误差的各种因素进行了详细分析。首先使用中国计量科学研究院标准测长机对标准球的直径进行校准，再使用标定后的标准球校准工业CT探测尺寸误差。实验结果表明球标准器能够满足工业CT探测尺寸误差校准的需求，既能被精密校准，又可在工业CT中获得低伪像的高质量图像，从而实现对工业CT探测尺寸误差的校准。通过对影响工业CT探测尺寸误差因素的分析，讨论了工业CT成像过程中各环节的误差源，对于建立工业CT测量系统全面的校准方法和溯源具有重要意义。
- 王义旭施玉书高思田李东升李伟李琪宋旭
- 关键词：计量学工业CT
- 微区共焦拉曼光谱探测系统
- 本申请提供一种微区共焦拉曼光谱探测系统，通过第一分光单元以及第二分光单元实现了透射式的光路结构，使得拉曼散射光经过透射，传输至第一光谱探测单元与第二光谱探测单元进行拉曼光谱探测。经第一分光单元与第二分光单元可以分离出的第...
- 高思田姜静子丁健朱振东李伟施玉书李琪李适
- 文献传递
- 基于电化学腐蚀法的钨探针制备装置研究被引量：4
- 2018年
- 基于电化学腐蚀法制备钨探针的原理,设计了一套钨探针制备装置,并对钨探针制备参数进行了研究。装置的实验部分用于调整探针与电解槽的相对位置和运动参数,控制部分用于监测、控制并记录电化学反应的状态。与传统腐蚀探针相比,该装置通过控制电路控制探针腐蚀过程中运动参数,获得了形状可控的大长径比探针;同时通过精确控制腐蚀反应时间,可制备针尖曲率半径范围为5~20 nm的探针。
- 徐靖涛高思田黄鹭李琪李东升汪雅丽
- 关键词：计量学电化学腐蚀长径比曲率半径
- 一种切换式干涉零光程定位装置及方法
- 本发明公开了一种切换式干涉零光程定位装置，涉及光学用机械装置技术领域，包括光源、分束镜、静止反射镜、运动反射镜和光电探测器，所述光源能够产生准直的红外光，在所述光源和所述分束镜之间设置有滤波片切换机构，所述滤波片切换机构...
- 杜彪李琪张正东卢小新李轲石一慈徐晓雯
- 法向位移和角度传感光学测头
- 本实用新型公开了一种法向位移和角度传感光学测头，其特征是半导体激光器发出的激光依次经分光光栅、分光镜和反射镜后经准直成平行光束，平行光束经直角棱镜反射进入显微物镜；被待测物体反射的光束按照原路返回至分光镜后经像散透镜聚焦...
- 卢荣胜董敬涛李琪夏瑞雪史艳琼刘宁
- 文献传递
