张焕
- 作品数:3 被引量:6H指数:1
- 供职机构:辽宁师范大学物理与电子技术学院更多>>
- 发文基金:大连市科学技术基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域:理学电子电信更多>>
- 衬底温度对ZnO:N薄膜结构和光学性能的影响被引量:5
- 2012年
- 利用超声喷雾热解方法,以不同的沉积温度(450~510℃)在石英衬底上制备出具备较高光学质量的氮掺氧化锌(ZnO:N)薄膜。通过X射线衍射(XRD)谱研究了薄膜的结构,用扫描电子显微镜(SEM)研究了薄膜的表面形貌,用紫外可见(UV)分光光度计、光致发光(PL)谱对薄膜的光学特性进行了测试分析。结果表明,所制备薄膜在可见波段具有较高透过率,并且沉积温度对ZnO:N薄膜的透过性能有很大影响。在衬底温度为500℃时得到的ZnO:N薄膜为六角纤锌矿结构,结晶质量最好、光透过率最高。PL谱的测试结果显示,在该条件制备的ZnO:N薄膜只在389.4nm处有一个较强的近带边紫外发光峰。
- 王玉新孙景昌郑亚茹王晓玉张焕戴世飞朱军
- 关键词:透过率光学性能
- 衬底温度对ZnMgO薄膜结构和光致发光性能的影响被引量:1
- 2013年
- 利用超声喷雾热解方法以不同的沉积温度(450~550℃)在石英衬底上制备出一系列ZnMgO薄膜。采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和光致发光谱(PL)表征了样品的晶体结构、表面形貌和光学性能。结果表明衬底温度对薄膜结构性能和光学特性影响显著。所有薄膜都呈六角纤锌矿多晶结构,其中在530℃条件下制备的样品C轴择优最明显,晶粒尺寸均匀,表面形貌平整,结晶质量最好。薄膜的光致发光谱显示随着温度的升高深能级跃迁范围逐渐减小,近紫外带边发光峰逐步出现。衬底温度为530℃时在374.5nm处出现了明显的近紫外发光峰,且几乎没有明显的深能级跃迁出现。
- 董李娜王玉新孙景昌郑亚茹张焕梁鸣林茂魁崔硕
- 关键词:ZNMGO薄膜衬底温度光致发光谱
- 超声喷雾热解法制备氮铟共掺杂氧化锌薄膜光学性能的研究
- 氧化锌(Zinc oxide,简称ZnO)是一种Ⅱ-Ⅵ族宽禁带氧化物半导体材料。被普遍认为是继GaN材料之后的另外一种优秀的光电材料,制备的薄膜被广泛应用于压敏电阻、气敏传感器、体声波器件、声表面波器件、透明电极、紫外探...
- 张焕
- 关键词:氧化锌半导体材料光学性能
- 文献传递