余跃波
- 作品数：6 被引量：21H指数：3
- 供职机构：上海交通大学更多>>
- 相关领域：电子电信动力工程及工程热物理电气工程更多>>
- 低温沉积氧化锌薄膜电学特性被引量：2
- 2009年
- 利用金属有机物化学气相沉积系统在玻璃衬底上沉积氧化锌薄膜,在约160℃的低温生长条件下,通过改变n型掺杂气体硼烷的流量来调制薄膜电阻率和光学透过率。基于Hall效应测试分析,研究了掺杂剂硼烷流速对氧化锌薄膜电阻率,载流子浓度,Hall迁移率以及光学透过率的影响,此外还研究了薄膜电学特征参量随薄膜厚度的变化规律。经过一系列优化实验,在玻璃衬底上能够获得低温生长的氧化锌薄膜电阻率约2×10^(-3)Ω·cm,光学透过率的截止波长发生蓝移,从380nm延伸到近340nm。
- 孟凡英吕肖前李晖胡宇施旸余跃波江民林
- 关键词：氧化锌薄膜电阻率蓝移
- 氧化锌透明导电薄膜生长及其光电特性研究
- 本研究工作采用MOCVD系统在低温的条件下生长ZnO薄膜,通过控制n型掺杂剂气体BH流速制备不同ZnO:B薄膜,利用Hall效应、紫外可见透射谱等手段对薄膜的光电性能进行表征和分析。通过实验条件的优化获得高电导率和高光透...
- 孟凡英胡宇余跃波
- 关键词：MOCVD光学性质电学性质
- 文献传递
- 低温生长SiO_2钝化膜在太阳电池上的应用被引量：3
- 2009年
- 主要研究在晶体硅衬底上采用干氧氧化法生长SiO_2薄膜,通过改变非晶SiO_2薄膜的生长温度、时间以及气体流量等参数优化工艺条件,增强对硅片的钝化作用,提高光生少数载流子寿命。实验发现在840℃长的非晶SiO_2薄膜对硅片钝化效果最佳,可将硅片少子寿命提高约90%。此外,为优化SiO_2/SiN_x双层膜的减反射作用,采用Matlab程序计算SiO_2/SiN_x双层膜的反射谱,从理论上获得最优的膜系组合。实验发现生长有SiO_2钝化膜的SiO_2/SiN_x双层膜太阳电池相对单层SiN_x膜太阳电池,短路电流和开路电压分别提高了0.2A和8mV,转换效率提高约9%。
- 胡宇孟凡英董经兵江民林余跃波杨乐王栩生王景霄崔容强
- 关键词：钝化双层膜太阳电池
- TiO_2/SiO_2双层减反膜在太阳电池上的应用被引量：11
- 2009年
- 利用二氧化硅(SiO_2)对太阳电池表面的钝化作用,对传统的二氧化钛(TiO_2)单层减反膜进行了改良。基于理论模拟分析了光反射率随膜层(TiO_2/SiO_2)厚度变化规律,结合实验上SiO_2最佳厚度经验值,制备了晶体硅太阳电池(即TiO_2/SiO_2/Si),并和SiN_x/Si结构的晶体硅太阳电池相比较。分别测试了少子寿命、反射率、电性能参数等,结果表明这种改良后的TiO_2减反膜也可以取得很好的减反效果和钝化效果。镀有TiO_2/SiO_2双层膜与SiN_x减反膜绒面晶体硅片的积分反射率分别为4.9%和3.9%;使用以上两种不同减反膜制备的太阳电池的开路电压均可达到0.62V。可见这种TiO_2/SiO_2双层膜有望在将来的生产中得到具体应用。
- 余跃波孟凡英郭群超江民林胡宇
- 关键词：TIO2减反膜钝化太阳电池
- 双层减反射膜的理论模拟及其在太阳电池上的应用
- 太阳电池是将光能直接转换为电能的半导体器件,研究它的光电性质对于提高太阳电池的光电转换效率、降低成本具有很重要的意义。本文主要对太阳电池的表面钝化处理和减反射膜的设计进行深入地研究,分析了不同因素对电池表面钝化效果的影响...
- 余跃波
- 关键词：钝化太阳电池
- 文献传递
- 用MOCVD方法制备ZnO：B透明导电薄膜及其性能优化被引量：5
- 2008年
- 采用金属氧化物化学气相沉积(MOCVD)方法在石英衬底上生长氧化锌(ZnO)薄膜。改变薄膜材料的生长温度和掺杂气体硼烷(B_2H_6)的流速,制备一系列薄膜样品。通过X-射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、透过率、反射率、电阻率和原子力显微镜(AFM)等测试分析,研究了材料生长温度和B_2H_6流速对薄膜生长速度、微观结构、薄膜晶向、光学透过率、光学禁带宽度、电阻率、表面粗糙度等特征参量的影响,经过优化实验条件,获得薄膜电阻率在10^(-3)Ω·cm量级,可见光区域光学透过率在85%以上,成功制备低电阻率高光学透过率的ZnO透明导电薄膜。
- 孟凡英江民林余跃波胡宇
- 关键词：电阻率MOCVD
