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顾爱军

作品数：1 被引量：1H指数：1
供职机构：无锡微电子科研中心更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇特种气体
  • 1篇气体
  • 1篇工艺线
  • 1篇规程
  • 1篇半导体
  • 1篇纯度

机构

  • 1篇无锡微电子科...

作者

  • 1篇陆锋
  • 1篇顾爱军

传媒

  • 1篇微电子技术

年份

  • 1篇2002
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
工艺线特种气体系统设计与施工规程被引量：1
2002年
本文介绍了工艺线特种工艺气体系统改造设计方面的一些原则,并详细论述了管路的施工规程。
陆锋顾爱军
关键词：特种气体纯度半导体
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共1页<1>
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