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文献类型

  • 4篇会议论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇学位论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 1篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 3篇PECVD
  • 2篇电池
  • 2篇性能研究
  • 2篇微结构
  • 2篇膜制备
  • 2篇抗腐蚀
  • 2篇抗腐蚀性
  • 2篇光电
  • 2篇光电性
  • 2篇光电性能
  • 2篇红外
  • 2篇腐蚀性
  • 2篇ITO膜
  • 1篇导电
  • 1篇导体
  • 1篇等离子体化学...
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇直流磁控溅射...
  • 1篇智能建筑

机构

  • 8篇北京航空航天...
  • 1篇中国科学院

作者

  • 8篇金飞
  • 6篇丁照崇
  • 6篇王天民
  • 6篇张维佳
  • 5篇闫兰琴
  • 4篇武美伶
  • 4篇张心强
  • 3篇贾士亮
  • 1篇崔敏
  • 1篇李国华
  • 1篇阎兰琴

传媒

  • 2篇2006北京...
  • 1篇稀有金属材料...
  • 1篇Journa...

年份

  • 1篇2009
  • 3篇2007
  • 4篇2006
8 条 记 录,以下是 1-8
排序方式:
高密度高导电性ITO靶研制被引量:12
2006年
采用化学共沉淀法掺金属Nb,Ta和P到ITO材料中可使ITO(Indium Tin Oxide)靶相对密度达到97%~99%,并且靶电阻率小于3.0×10^-4Ω·cm,其质量损失率小于4.0%.采用直接掺杂法将TiO2纳米粉末掺入到纳米ITO粉末中可使ITO靶相对密度达到95%以上.当烧结温度为1500℃时,掺Nb,Ta,P的ITO靶电阻率稍小于纯ITO靶的电阻率.
张维佳王天民崔敏金飞丁照崇阎兰琴
关键词:ITO烧结剂掺杂
新型红外Ge1-xCx膜制备、微结构及力学性能研究
本文利用等离子体化学气相沉积的方法(PECVD)在ZnS基底上制备了组织成分可调(x值可调)的Ge1-xCx过渡层,其折射率随组分x的不同在2~4 的范围内变化。对薄膜样品进行了X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XP...
闫兰琴张维佳丁照崇金飞张心强武美伶王天民
关键词:微结构附着力抗腐蚀性PECVD
文献传递
纳米硅层状薄膜及其p-i-n太阳能电池的研制被引量:1
2007年
通过等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法分别制备了本征、掺磷和掺硼的氢化纳米硅薄膜(nc-Si:H),并制备出纳米硅复合层状薄膜.对薄膜样品进行了喇曼(Raman)散射谱,X射线衍射等分析测试.结果表明:掺杂元素对纳米硅薄膜的晶态比和晶粒大小存在不同程度的影响;通过薄膜表面衍射(XRD)可得到硅的(111),(220)和(311)三个晶面衍射峰;并在制得的纳米硅复合层状薄膜的基础上,制备了结构为Al/ITO/n+-nc-Si:H/i-nc-Si:H/p-c-Si/Al/Ag的太阳能电池.该电池的开路电压、短路电流和填充因子与非晶硅太阳电池相比,均得到很大的提高.
金飞张维佳贾士亮丁照崇闫兰琴王天民李国华
关键词:PECVD太阳能电池半导体薄膜
掺NbITO膜的光电性能研究
本文采用直流磁控溅射法溅射掺铌Nb的ITO靶来制备掺铌ITO膜.研究分析了基片温度、氧氩比O2:Ar、工作气压、溅射功率等工艺参数对样品的光学性能和电学性能的影响.通过四探针测试仪、紫外分光光度计、X射线衍射(XRD)及...
丁照崇张维佳金飞闫兰琴张心强武美伶贾士亮王天民
关键词:光电性能直流磁控溅射法
文献传递
掺NbITO膜的光电性能研究
本文采用直流磁控溅射法溅射掺铌Nb的ITO靶来制备掺铌ITO膜。研究分析了基片温度、氧氩比O2:Ar、工作气压、溅射功率等工艺参数对样品的光学性能和电学性能的影响。通过四探针测试仪、紫外分光光度计、X射线衍射 (XRD)...
丁照崇张维佳金飞闫兰琴张心强武美伶贾士亮王天民
关键词:ITO膜光电性能
文献传递
智能建筑控制系统集成的设计与应用
金飞
关键词:INTELLIGENT
新型红外Ge1-xCx膜制备、微结构及力学性能研究
本文利用等离子体化学气相沉积的方法(PECVD)在ZnS基底上制备了组织成分可调(x值可调)的Ge1-xCx过渡层,其折射率随组分x的不同在2~4的范围内变化.对薄膜样品进行了X射线衍射(XRD)、X射线光电子谱(XPS...
闫兰琴张维佳丁照崇金飞张心强武美伶王天民
关键词:微结构抗腐蚀性PECVD等离子体化学气相沉积
文献传递
硅基纳米硅薄膜太阳电池的研制
金飞
关键词:纳米硅薄膜太阳电池
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