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贾锐
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241
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H指数:4
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中国科学院微电子研究所
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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相关领域:
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合作作者
刘新宇
中国科学院微电子研究所纳米加工...
陈晨
中国科学院微电子研究所纳米加工...
金智
中国科学院微电子研究所
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
陶科
中国科学院微电子研究所
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2010
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2009
4篇
2008
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2007
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漂移探测器及其加工方法
本说明书提供一种漂移探测器及其加工方法,漂移探测器包括:衬底;设置在所述衬底两个表面上,用于使所述衬底形成漂移区的的漂移电极;设置在所述衬底两个表面,并且位于所述漂移电极同侧的集电电极;所述集电电极用于收集经由所述漂移区...
姜帅
陶科
贾锐
刘新宇
金智
张立军
王冠鹰
欧阳晓平
文献传递
非挥发存储器的制备方法
本发明是关于一种非挥发存储器的制备方法,其包括以下步骤:在半导体衬底上形成一层栅氧化层;采用电子束蒸发方式将硅粉末和二氧化铪粉末的混合物蒸发至该栅氧化层上,再经高温热退火在形成纳米晶浮栅层;在纳米晶浮栅层上形成栅电极;以...
朱晨昕
贾锐
陈晨
李维龙
李昊峰
王琴
刘明
文献传递
n型晶体硅太阳电池中简易硼扩散方法的系统研究
本文系统研究了扩散时间、N2流量对硼盐酸扩散的影响.不同扩散时间的实验表明,使用这种方法对n型硅片进行扩散,只需要通过调节扩散的时间即可得到不同方块电阻的结;调节N2流量的实验表明,在较大N2流量范围内,通过这种方法得到...
张代生
贾锐
陈晨
张巍
邢钊
关键词:
晶体硅
硼扩散
一种背结背接触太阳能电池
本发明提供了一种背结背接触太阳能电池,包括,基片;复合在所述基片前表面的受光复合层;复合在所述基片背表面的第二钝化层和第一电极复合层;所述第二钝化层和所述第一电极复合层交替设置;复合在所述第二钝化层表面的第二型掺杂半导体...
孙昀
贾锐
姜帅
陶科
孙恒超
戴小宛
金智
刘新宇
文献传递
一种制备单电子晶体管的方法
本发明涉及纳米电子器件及纳米加工技术领域,公开了一种利用Undercut技术制备单电子晶体管的方法,在SOI衬底上利用电子束曝光双层胶工艺以及Undercut技术制备单电子晶体管。其主要工艺步骤如下:离子注入及快速退火;...
王琴
李维龙
贾锐
刘明
叶甜春
文献传递
第三代太阳能电池的多层Si量子点超晶格结构的制备及其研究
自从第三代太阳能电池的概念被提出以来,由于其无毒、原材料丰富、高效率、低成本而吸引起了广泛的研究兴趣。我们利用低成本的全硅材料来实现第三代太阳能电池的结构,率先通过大生产线上使用的电子束蒸发设备和技术,大面积、低成本、快...
贾锐
关键词:
太阳能电池
硅量子点
超晶格结构
量子效应
文献传递
光电器件界面缺陷表征方法及装置
本发明涉及一种光电器件界面缺陷表征方法及装置,解决了现有技术中光电器件界面处缺陷不能无损检测的技术问题。本发明的方法包括:建立待测光电器件的等效电路模型;在设定的直流偏压下,根据设定的温度范围及温度步长,在每个温度下,变...
陈圣迪
陶科
贾锐
姜帅
李星
金智
太赫兹的磷化铟耿氏管制备方法
公开了一种太赫兹的磷化铟耿氏管制备方法,包括:在高掺硫的磷化铟衬底上生长磷化铟外延层;将所述生长磷化铟外延层后的衬底进行光刻定形、蒸发金属电极后形成阴极;在所述形成阴极后的衬底上,利用湿法腐蚀或反应耦合等离子体刻蚀台面;...
贾锐
白阳
金智
刘新宇
文献传递
用于异质结a-Si:H/c-Si太阳能电池钝化和隧穿层的Al2O3研究
新型硅表面钝化材料Al203由于其优异的钝化特性和适合于高效P-型产业化电池引起了广泛的关注。目前,对Al203在太阳能电池应用的研究主要集中在发射极及背表面钝化( PERC)电池作为钝化层上。在本文中,我们将采用热一原...
孙昀
贾锐
金智
刘新宇
关键词:
AL2O3
原子层沉积
隧穿
异质结太阳能电池
利用声表面波器件测试气体浓度的方法
本发明公开了一种利用声表面波器件测试气体浓度的方法,利用声表面波气体传感器在吸附被测气体前后,声表面波在其上传播速度的不同,来定量得到被测气体的浓度。其主要步骤为:使用信号发生器在双端对声表面波气体传感器一侧发射一短脉冲...
李昊峰
贾锐
李维龙
陈晨
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