徐明星
- 作品数：1 被引量：3H指数：1
- 供职机构：四川大学材料科学与工程学院无机非金属材料系更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术更多>>
- 循环刻蚀工艺对金刚石膜形貌和电阻率的影响被引量：3
- 2005年
- 为了制备新型金刚石薄膜辐射剂量计,针对目前金刚石薄膜质量较差,难于满足辐射剂量计要求的问题,采用微波等离子体CVD法,研究了循环刻蚀生长阶段工艺参数(甲烷浓度,基片温度)和刻蚀方法对薄膜形貌、电阻率的影响。结果表明,循环刻蚀生长有利于提高金刚石薄膜的纯度和取向性。当?(甲烷)为0.34%,基片温度为960℃时,可获得[100]晶面取向的、电阻率达1011Ω·cm的金刚石膜,和采用常规工艺所得金刚石薄膜相比,其电阻率提高了3个数量级。
- 张进冉均国苟立苏葆辉廖晓明徐明星
- 关键词：无机非金属材料金刚石膜辐射剂量计电阻率
