张鉴
- 作品数：54 被引量：311H指数：8
- 供职机构：合肥工业大学更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金教育部重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术天文地球机械工程更多>>
- 固定宽度结构等离子体刻蚀中Lag效应的数值模拟
- 2006年
- 为了对传感器设计与制造中的刻蚀过程进行研究，本文利用等离子体～硅表面交互作用的动力学机制和算法的优化，建立了一种时空归一化的等离子体刻蚀硅片二维模型，并利用该模型，从固定结构尺寸的角度对等离子体刻蚀中的重要现象——Lag效应进行了揭示，证明在固定宽度结构的刻蚀中存在刻蚀速率随时间变小的现象。同时还对刻蚀算法中的时间步长选择问题进行了讨论，从数值计算的角度提出了最优时间步长的概念并加以验证。为工艺过程的数值模拟及实验提供参考和指导。
- 张鉴黄庆安李伟华
- 关键词：等离子体刻蚀时间步长数值模拟
- FMCW雷达系统的双模方向判断模块研究被引量：11
- 2014年
- 方向判断模块是雷达防撞系统中的一个重要功能模块。为实现该模块,完成了对差频信号频率及相位与目标运动方向关系的理论推导,得到并验证了频率及相位与目标靠近或远离关系的2种判定法则。利用这2种法则,设计了基于频率和相位变化判断目标运动方向的双模判断模块。该模块集成了2种模式的方向判断电路,连接计频器得到用于DSP计算的频率,并利用光电报警器直观显示目标的运动方向,可极大地提高方向判断的准确性。对电路的模拟结果验证了利用双模理论实现方向判断模块设计的可行性。
- 戚昊琛胡智文张鉴
- 关键词：FMCW电路模块
- 基于线算法的ICP深反应离子刻蚀模型被引量：3
- 2008年
- 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀是目前集成电路与微机电系统制造的关键工艺之一。利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP深反应离子刻蚀(Deep-RIE)进行了工艺仿真建模。根据深反应离子刻蚀中Footing效应的实验特征,提出了针对这一现象的表面描述方程,并借助实验手段确定了该表面描述方程中的参数,从而为模型添加了一种简单有效的Footing效应模拟模块。最后对Deep-RIE和Footing效应刻蚀表面进行模拟,验证了模型的有效性和可用性。
- 张鉴何晓雄刘成岳戚昊琛
- 关键词：深反应离子刻蚀ICP
- FMCW雷达系统及其前端数据采集模块设计被引量：7
- 2012年
- (FMCW)调频连续波雷达在汽车防撞系统中得到了广泛的应用。文中对近年来国内外汽车防撞系统的发展做了阐述和比较,以FMCW毫米波雷达作为系统前端,对防撞系统的原理、结构、信号的前置放大和模数转换等关键数据采集模块进行了介绍与设计。
- 戚昊琛解光军张鉴
- 关键词：FMCW毫米波雷达
- 一种无接触式智能采样检测马桶装置及其控制方法
- 本发明涉及一种无接触式智能采样检测马桶装置及其控制系统，其在马桶装置内部和后部设置尿液粪便传感器、采样检测装置与处理模块。可通过人机交互面板及扶手处的控制模块进行操作，可完成识别、采样、取样、检测等功能，解决高风险样品采...
- 张鉴戚昊琛杨俊阮千虓黎豪何誉阳路恒
- 文献传递
- 一种可用于Footing效应模拟的ICP刻蚀模型被引量：4
- 2007年
- 电感耦合等离子体(ICP)刻蚀在目前的硅微机械加工中应用十分广泛。在这一加工过程中,存在着影响结构拓扑特性、被加工结构性能的一些效应,SOI结构中的Footing效应就是其中之一。本文在利用一种改进的复合交替深刻蚀(TMDE)模型对ICP刻蚀表面进行建模及数值模拟的基础上,根据Footing效应的实验表现特征,设定类高斯分布的表面描述方程。同时借助实验数据确定了表面描述方程中的参数,添加了一种简单有效的Footing效应模拟模块。最后对Footing效应刻蚀表面进行模拟,并得到与实验较为一致的表面模拟结果。
- 张鉴黄庆安李伟华
- ICP刻蚀中等离子体分布的模拟被引量：4
- 2005年
- 采用直接蒙特卡罗方法对反应器中的气体分布进行粒子模拟,从而得到在不同条件下的一组结果,给出了粒子浓度和温度与腔体尺寸的关系图。并对结果作出分析比较,得出不同的条件对粒子浓度以及温度等产生影响,结果对ICP刻蚀的工艺控制有参考价值。
- 冯明张鉴黄庆安
- 关键词：电感耦合等离子体
- 用于溯源防伪防篡改的微型装置、系统及方法
- 本发明提供一种用于溯源防伪防篡改的微型装置、系统及方法，具有判断受保护包装状态过程的逻辑电路，且包装状态过程信息一旦被记录即不可更改，因此当所述微型装置被用于各种商品包装后，当有受损包装出现在读写器有效磁场范围内时，读写...
- 郑磊张煜宇戚昊琛张鉴杨俊方昕孙璇
- MEMS加工中电感耦合等离子体（ICP）刻蚀硅片的模型与模拟
- 在MEMS器件及系统的制造中，电感耦合等离子体(ICP)对硅片的刻蚀工艺由于具备操作简单、各向异性性能好、刻蚀速率快、成本低等特点，是目前实现高深宽比结构制造的主流工艺。由于目前ICP刻蚀没有成熟的商用模拟工具，其工艺的...
- 张鉴
- 关键词：电感耦合等离子体刻蚀工艺
- 微机械加工工艺的三维仿真模型及算法被引量：1
- 2010年
- 文中对近年来国内外关于微机械加工工艺表面形貌模拟的三维仿真模型及算法进行了较为详细的介绍与比较,并辅以实例的仿真结果,以使对微机械加工的三维工艺仿真有较全面的认识。
- 徐栋梁张鉴许晓琳
