您的位置： 专家智库 > >

黄秋萍

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇中文专利

主题

  • 4篇调制
  • 4篇光调制
  • 4篇半导体
  • 4篇半导体材料
  • 4篇材料特性
  • 2篇信号
  • 2篇特性参数
  • 2篇特征参数
  • 2篇重要参数
  • 2篇空间域
  • 2篇测量信号

机构

  • 4篇中国科学院

作者

  • 4篇韩艳玲
  • 4篇李斌成
  • 4篇黄秋萍
  • 4篇刘显明

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2009
共 4 条 记 录，以下是 1-4
全选 清除 导出
排序方式：
一种基于双探测光束的半导体材料特性测量装置及方法
一种基于双探测光束的半导体材料特性测量装置及方法，用于测量半导体材料特征参数和监控掺杂等工艺过程。基于半导体材料对强度周期性调制的激励光的吸收，在同一套测试系统中同时获得自由载流子吸收信号和光调制反射信号；通过改变激励光...
李斌成黄秋萍刘显明韩艳玲
文献传递
一种半导体材料特性的测量装置及测量方法
本发明公开了一种半导体材料特性的测量装置及方法，用于测量半导体材料的特性参数以及对材料加工品质的评价，在测试系统中仅由一束激发光和一束探测光来，可同时或分别取得样品的光载流子辐射测量信号、自由载流子吸收测量信号以及光调制...
李斌成刘显明黄秋萍韩艳玲
文献传递
一种半导体材料特性的测量装置
本发明公开了一种半导体材料特性的测量装置及方法，用于测量半导体材料的特性参数以及对材料加工品质的评价，在测试系统中仅由一束激发光和一束探测光来，可同时或分别取得样品的光载流子辐射测量信号、自由载流子吸收测量信号以及光调制...
李斌成刘显明黄秋萍韩艳玲
文献传递
一种基于双探测光束的半导体材料特性测量装置及方法
一种基于双探测光束的半导体材料特性测量装置及方法，用于测量半导体材料特征参数和监控掺杂等工艺过程。基于半导体材料对强度周期性调制的激励光的吸收，在同一套测试系统中同时获得自由载流子吸收信号和光调制反射信号；通过改变激励光...
李斌成黄秋萍刘显明韩艳玲
文献传递
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0