黄文符
- 作品数：6 被引量：0H指数：0
- 供职机构：中国科学院更多>>
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- 高精度活节
- 本产品属于一种真空设备之联轴节,其结构是两个与真空设备联接法兰下面为接管,接管下面为内环支座,内环支座下面为波纹管,其特点是在接管的下面的波纹管内装有双列向心球面球轴承,使真空外的波纹管与真空腔内形成有机联接。优点:结构...
- 黄文符
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- 射频磁控溅射对靶装置
- 本装置属于一种镀膜装置，其结构是该镀膜装置为对称结构，上下两靶结构相同，每个靶的结构是外面为屏蔽层，中心为冷却水管，水管外为磁屏蔽层，磁屏蔽层外为靶体，靶体下面相对装有磁块，屏蔽层相对处形成开口，对靶中间的金属材料进行镀...
- 黄文符张振厚
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- 大视角挡板
- 本产品属于大型仪器设备上的观察窗口附属装置。其结构是在大型仪器法兰固定的观察窗内装有两支平等立轴，下面由齿轮联接，在一支轴上装有磁导体，两支立轴都固定在仪器的空腔内，与外界隔离，在封闭立轴顶端的外面套有磁偶合器，偶合器转...
- 黄文符
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- 对向异材磁控溅射靶制备合金薄膜工艺方法
- 本装置属于利用磁控溅射靶制备合金及化合物薄膜之工艺方法,结构为一对向磁控溅射靶,其中一个靶上设有靶材A,另一靶上设有靶材B,则在基片上形成的薄膜合金为A+B,在加工过程中由于改变每个靶的溅射速率可以随时和任意改变合金的比...
- 张振厚黄文符
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- 高功率密度同步辐射前端区安全防护系统的结构与配置
- 1998年
- 第三代同步辐射光源，尤其是由波荡器引出的同步辐射光，具有极高的功率密度。本文介绍了高功率密度同步辐射带来的热辐射问题并探讨了在前端区解决该问题的方法与结构。
- 雷震霖张振厚孙宇凌黄文符张国栋刘先卓
- 关键词：功率密度热负荷安全防护
- 真空镀膜装置
- 本实用新型涉及一种真空镀膜装置。由用步进电机驱动的样品架、靶、离子源、加热源、基片架和安装在真空室外面的机械泵、分子泵组成,其基片架通过行星齿轮组与样品架安装,圆周均布于样品架上方,样品架下设机械定位校准机构,于步进电机...
- 黄文符张国栋
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