黄加华
- 作品数：7 被引量：2H指数：1
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- 相关领域：电子电信理学电气工程更多>>
- 小功率平面螺旋电感耦合微波微等离子体的研究
- 本课题由国家自然科学基金项目“小功率微波微等离子体的研究”(批准号：61072007)资助。随着微电子、微波和等离子体一体化的发展,人们越来越关注基于微系统的小功率微波等离子体源的研究。而电感耦合等离子体源(ICPS)具...
- 黄加华
- 关键词：电感耦合微等离子体品质因素介质基片
- 文献传递
- 平面渐变螺旋ICPS介质基片对性能的影响
- 根据平面电感耦合微波等离子体源理论，采用自谐振方式，设计了一个谐振频率在2.45GHz的渐变结构式平面微带螺旋天线。为了得到ICPS的最佳性能，对不同介质进行数值仿真。研究结果表明，介质基片的介电常数对谐振频率影响很大，...
- 黄加华廖斌
- 关键词：螺旋天线品质因数数值仿真
- 外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响被引量：1
- 2014年
- 为使小功率微波微等离子体源进一步小型化,提出了通过外加磁场减小微波微等离子体激励功率的方法。首先对2.45GHz平面微带渐变螺旋天线进行数值仿真,得到最佳结构尺寸;其次在螺旋天线上加载高斯磁感应强度分别为360、990和2 840Gs的环形磁铁,测试得到加载磁场前后的S参数;最后通过改变磁铁及磁极方向,研究其对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响。实验结果表明:当空气气压为666.6Pa时,磁场强度和磁极方向均可使小功率微波微等离子体的激励功率和熄灭功率发生变化,且磁铁S极朝外更有利于激励;随着磁场强度的增大,激励功率逐渐减小;外加磁场时的最小激励功率比未加载磁场时的激励功率减小了15%。该研究结果在微化学分析系统、小尺寸材料的表面处理等领域具有良好的应用前景。
- 廖斌王新刚黄加华朱守正
- 关键词：微波微等离子体螺旋天线外加磁场
- 小功率微波微等离子体源的集成研究被引量：1
- 2014年
- 提出了一种小功率集成微波微等离子体源的结构,通过平面微带渐变螺旋电感耦合线圈激励微波微等离子体。研究表明,该集成微波微等离子体源具有频率可调、功率可调的特点,频率范围为2.3~2.6GHz,输出功率范围为20~40dBm。在频率为2477MHz、空气真空度为3.7 Torr,输入功率为2.15W时,平面微带渐变螺旋电感耦合线圈能较好激励起微波微等离子体,这为微波微等离子体源的小型化研究提供了基础。
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 关键词：频率可调
- 一种小功率集成微波微等离子体源
- 本发明公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环行器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功...
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 文献传递
- 一种小功率集成微波微等离子体源
- 本实用新型公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时...
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 文献传递
- 一种小功率集成微波微等离子体源
- 本发明公开了一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工作时小功...
- 廖斌王柯乔黄加华朱守正
- 文献传递
