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赵雷
作品数:
10
被引量:30
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电气工程
电子电信
一般工业技术
金属学及工艺
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合作作者
靳永吉
中国电子科技集团公司
蒋书运
东南大学机械工程学院
周宇
东南大学机械工程学院
姜家宏
中国电子科技集团公司
王广峰
中国电子科技集团公司
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赵雷
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布线横移架
本发明提供了一种布线横移架,涉及半导体专用加工设备技术领域。具有以下机械传动结构:伺服电机通过联轴器与滚珠丝杠连接,滚珠丝杠件通过滚动轴承固定支承于支架上;导向空心光轴通过直线轴承与支架相连,中间设有尼龙管的导向空心光轴...
赵雷
文献传递
300mm硅片多线切割机的开发
靳永吉
吴旭
王广峰
种宝春
李燕玲
张为强
罗嘉晖
姜家宏
赵雷
付纯鹤
所属科学技术领域:“300mm硅片多线切割机的开发”项目来源于国家重大科技专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项),项目合同号2009ZX02011-002A,属于电子通信科学技术领域。立项背景:多线切割机...
关键词:
关键词:
硅片
多线切割机
磁悬浮储能飞轮系统研究进展
被引量:24
2003年
介绍了飞轮的基本结构 ,阐述了飞轮磁悬浮轴承的原理和特性 ,描述了国内外飞轮储能技术的研究开发现状 ;
周宇
蒋书运
赵雷
关键词:
飞轮储能
电磁悬浮轴承
电能
一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站
本发明涉及一种在半导体专用设备和光伏行业中用来实现多线切割机的砂浆供给和回收储备——砂浆站。其包括支架,在支架上装配有砂浆灌,砂浆灌下部设有泄流管,在砂浆灌上部设置有大、小盖板,大、小盖板间为铰接,在大盖板上安装有伸入砂...
赵雷
文献传递
搅拌机构
本实用新型涉及一种搅拌机构,它包括搅拌轴和叶片,搅拌轴下端与一空心球冠形封头的中心部位固定,且空心球冠形封头的球面朝下,叶片由齿形叶片和筋板形叶片两种叶片构成,其中,两片以上的齿形叶片沿空心球冠形封头的圆周均布,两片以上...
赵雷
靳永吉
文献传递
金刚线在硅晶体切割领域的应用研究
被引量:6
2019年
金刚石切割线近年来迅猛发展,通过与传统砂浆切割工艺对比分析优缺点,详细介绍了新材料金刚石切割线的分类、特性、结构原理、切割工作原理以及发展前景。
赵雷
李欢
胡孝伟
关键词:
损伤层
一种新型切割装置及工艺研究
2019年
传统切割工艺存在很多缺陷,文章介绍一种新型在线调晶检测切割装置及工艺,可以提高晶片的晶向精度、切片质量和成品率.通过碳化硅和碲锌镉晶体的切割比较新型切割装置及工艺相比较于传统切割工艺的优势,以及对未来材料加工的展望.
吴学宾
符瑶
赵雷
布线横移架
本发明提供了一种布线横移架,涉及半导体专用加工设备技术领域。具有以下机械传动结构:伺服电机通过联轴器与滚珠丝杠连接,滚珠丝杠件通过滚动轴承固定支承于支架上;导向空心光轴通过直线轴承与支架相连,中间设有尼龙管的导向空心光轴...
赵雷
砂浆分流装置
本实用新型涉及一种砂浆分流装置,特别是一种半导体硅片切割专用设备的辅助装置,其包括砂浆泵、供料管道和排料管道,砂浆泵的出料口与一三通的一个接口间连接输送管道,三通的另两个接口分别与供料管道及排料管道相接,供料管道和排料管...
赵雷
柳滨
文献传递
一种应用于半导体专用设备和光伏行业的砂浆站
本发明涉及一种在半导体专用设备和光伏行业中用来实现多线切割机的砂浆供给和回收储备——砂浆站。其包括支架,在支架上装配有砂浆灌,砂浆灌下部设有泄流管,在砂浆灌上部设置有大、小盖板,大、小盖板间为铰接,在大盖板上安装有伸入砂...
赵雷
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