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赵兴国
作品数:
5
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
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相关领域:
机械工程
理学
电子电信
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合作作者
付永启
中国科学院长春光学精密机械研究...
孙自力
中国科学院长春光学精密机械研究...
李相臣
中国科学院长春光学精密机械研究...
艾华
中国科学院长春光学精密机械研究...
孙承浦
中国科学院长春光学精密机械研究...
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中国科学院长...
作者
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赵兴国
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李永贵
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孙承浦
1篇
艾华
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李相臣
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孙自力
传媒
2篇
光学精密工程
1篇
仪器仪表学报
年份
1篇
1999
1篇
1998
1篇
1997
1篇
1996
1篇
1992
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高分辨率小型激光轴角编码器的研究
艾华
丁林辉
赵兴国
陈宝钦
李永贵
该项目是863计划自动化领域“七五”和“八五”期间的基础研究课题,是属于自动化技术,计量测试技术领域。原始分辨率162000P/R(无电子学细分),尺寸φ58mm×75mm最大累积误差小于8",响应速度高于675KHZ以...
关键词:
关键词:
高分辨率
提拉法涂胶提升速度的确定
被引量:1
1997年
分析了提拉法涂胶中影响胶膜厚度的主要因素,并据此确定出胶膜厚度;用实验的手段拟合出胶膜厚度与提升速度间的曲线图及关系表达式,依据该表达式确定出与选取的胶膜厚度对应的提升速度,为实际操作提供了可靠的工艺参数。
付永启
赵兴国
关键词:
提拉法
涂胶
光刻胶
柱面图形光学刻划的研究
1999年
柱面涂胶问题、刻划间隙的选取及新型光刻掩模板的研制是柱面图形光学刻划需解决的三大关键问题,本文以这三个问题为中心详细讨论了在圆柱面上光刻图形的方法。
付永启
赵兴国
赵晶丽
极小刻划间隙下的衍射光强度变化规律分析
被引量:2
1996年
讨论了极小刻划间隙下的衍射场光强度分布规律,并以单缝为例分析了当缝宽与波长改变时,相对光强度变化规律,补充和完善了使用普通平行光照明系统时的接近式光刻衍射场理论。
付永启
赵兴国
关键词:
衍射
全文增补中
电梯用光电增量脉冲发生器
本实用新型是关于电梯用光电增量脉冲发生器的改进。由光源、栅格盘、裂相指示栅格片、光电接收器、光电脉冲处理器和拖动电梯控制马达等构成,其上面的栅线为漏空网筛式。本实用新型克服了公知电梯用光电增量脉冲发生器所存在的缺点,使光...
朱应时
金轸裕
孙承浦
赵兴国
李相臣
孙自力
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