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胡雅
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3
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供职机构:
北京师范大学
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合作作者
彭奎庆
北京师范大学
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3篇
北京师范大学
作者
3篇
彭奎庆
3篇
胡雅
年份
2篇
2016
1篇
2014
共
3
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一种氢氟酸蒸汽刻蚀硅反应装置
本实用新型发明涉及一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅反应装置。该装置包括一个充气装置、一个氢氟酸储液瓶、一个腐蚀反应腔室以及一个尾气处理与收集装置。充气装置泵入的气体为空气或氧气。储液瓶和腐蚀反应腔室连接有一根导气管,导气管...
彭奎庆
胡雅
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一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法
本发明涉及一种制备多功能硅微纳米结构材料的方法,属于新材料与纳米材料技术领域。本发明将金属催化硅腐蚀技术与原电池腐蚀技术有效结合,直接利用溶解于氢氟酸溶液中的氧气作为促进硅腐蚀的氧化剂,不需要添加其它氧化剂如双氧水、硝酸...
彭奎庆
胡雅
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一种硅微纳米结构的制备方法
本发明涉及一种硅微纳米结构的制备方法,属于新材料与纳米材料技术领域。本发明利用碳与硅在氢氟酸溶液中构成腐蚀原电池,发明了一种新颖的硅微纳米结构制备方法。所述方法将表面沉积有石墨粉等碳材料的硅样品浸入含有氧化剂的氢氟酸溶液...
彭奎庆
胡雅
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