程星华
- 作品数：29 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国电子工程设计院更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信经济管理机械工程更多>>
- 一种稳定输出半导体工艺用超纯水的调控方法和装置
- 一种稳定输出半导体工艺用超纯水的调控方法和装置，所述调控方法包括：S1深处理：对一次纯水处理得到二次纯水；S2一阶循环：将部分二次纯水回流循环进行步骤S1，未回流二次纯水存入纯水储槽，根据纯水储槽液位的模拟输出结果，按比...
- 郑伟温鑫卢芳慧薛佳卉程星华白帆刘澈刘治川
- 一种超纯水的二阶净化设备及净化工艺
- 一种超纯水的二阶净化设备及净化工艺，所述设备包括依次连接的一阶系统和二阶系统；一阶系统将一次纯水处理得到二次纯水，包括除盐单元、第一混合光解吸收器和脱气单元；二阶系统将二次纯水处理得到超纯水，包括膜吸收器、第二混合光解吸...
- 程星华杨光明薛佳卉温鑫郑伟刘澈张峥周锋
- 一种用于离散生产的连续用能仿真装置及方法
- 本发明公开了一种用于离散生产的连续用能仿真装置及方法，连续用能仿真装置具体包括：通过信号连接的离散生产单元以及连续用能单元；离散生产单元用于根据离散生产的当前工况以及经连续用能单元优化后的工艺节拍，给出离散生产的实时工况...
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- 半导体工厂的纯水制备系统仿真模型的构建方法及装置
- 本发明公开一种半导体工厂的纯水制备系统仿真模型的构建方法及装置，方法包括：基于半导体工厂的工艺制程及产线规模需求的纯水指标及纯水用量，合理规划设计纯水制备系统的工艺流程、设备选型及配置；分别构建物料平衡分析模块及运行控制...
- 杨光明程星华卢芳慧刘治川郑伟潘伟超张婧宇
- IC制造项目节能措施合理性评估要点探讨
- 2016年
- 《固定资产投资项目节能评估和审查工作指南》（以下简称《指南》）中提出了＂能评前＂及＂能评后＂的概念,将能评报告的编制单位放在了第三方评估的位置,对项目用能情况进行评估,并提出具有实际操作价值的改进措施。近年来,我国大力推动集成电路（IC）制造业的发展,集成电路产业属于资金密集、技术密集的高新技术产业,具有用能种类繁多、三废排放量及耗能量大的特点。在集成电路制造项目的前期能评工作中,
- 蒋婧思程星华
- 关键词：节能措施节能评估IC制造耗能量第三方评估热回收系统
- CMP抛光液和终点检测技术研究
- 2024年
- 随着集成电路器件集成度的提高,晶圆尺寸和表面布线层数不断增加,特征尺寸不断减小,对晶圆表面的平整度提出了更高要求。作为唯一可以实现全局平坦化的方法,化学机械抛光(Chemical-Mechanical Polishing,CMP)成为晶圆制造过程的重要工艺。在各部件和化学品的协同作用下,化学机械抛光质量受到多个因素影响,介绍了抛光液和抛光终点检测(Endpoint detection,EPD)技术的研究新进展,着重阐述了抛光液在磨粒、化学添加剂和绿色环保方面的国内外研究方向,以及终点检测方法的几种新思路,展望了化学机械抛光技术的开发方向。
- 赵馨飞王君名白帆曹东程星华
- 关键词：化学机械抛光抛光液
- 一种半导体生产线二次配管装配流程的构建方法及装置
- 本发明公开了一种半导体生产线二次配管装配流程的构建方法及装置，根据用户的一次输入，调取预先构建的数据库中的二次配管组件数据；基于预设的二次配管组件装配逻辑，给出各个二次配管组件二维图形连接的二维管线逻辑关系图，并结合对应...
- 程星华杨光明徐策罗丹白帆刘学忠闫增会张峥赵晓妍李舒欣刘畅张海涛
- 一种半导体二次配管装机工程的布局装置及方法
- 本发明公开了一种半导体二次配管装机工程的布局装置及方法，包括：文件上传模块，接收半导体生产线的布局文件；数据解析模块，解析布局文件，获取设备的属性信息及位置信息，并传送至二次配管数据库；数据分析布局模块，给出二次配管装机...
- 杨光明程星华徐策闫增会刘学忠张峥刘畅赵晓妍白帆罗丹张海涛
- TFT-LCD等平板显示项目节能评估要点分析及探讨被引量：2
- 2014年
- 国家发布实施《固定资产投资项目节能评估和审查暂行办法》以来的这几年，正值我国TFT-LCD（薄膜晶体管液晶显示器）产业加速发展。TFT-LCD项目属于资金密集、技术密集的高新技术产业，属于精密电子器件加工制造。具有投资规模大、厂房体量大、工艺流程复杂、自动化程度高、厂务系统复杂、能源及耗能工质种类多、污染物种类多、排放量较大等特点。本文根据实际工作经验，对TFT-LCD项目节能评估报告中的能评要点及存在问题进行分析和探讨。
- 程星华李强
- 关键词：TFT-LCD节能评估平板显示薄膜晶体管液晶显示器高新技术产业污染物种类
- 一种基于数字孪生的离散生产工艺生成方法及装置
- 本发明公开一种基于数字孪生的离散生产工艺生成方法及装置，方法包括：获取目标产品的工艺制程路线，确定各工艺制程对应的工艺设备，形成工艺设备配置清单；基于预设的离散生产仿真模型，并结合目标产品的产能规划，给出工艺设备数量清单...
- 徐策 白帆 曹东 潘劲咏 李利彪 闫增会 李舒欣 孙雨萱程星华 罗丹 王超
