您的位置： 专家智库 > >

梅玉雪

作品数：1 被引量：11H指数：1
供职机构：山东理工大学理学院更多>>
发文基金：山东省自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇氧化锌
  • 1篇直流磁控
  • 1篇直流磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇溅射法
  • 1篇溅射法制备
  • 1篇锆
  • 1篇衬底
  • 1篇衬底温度
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射

机构

  • 1篇山东理工大学

作者

  • 1篇刘瑞金
  • 1篇王新峰
  • 1篇陈钦生
  • 1篇刘汉法
  • 1篇张化福
  • 1篇梅玉雪

传媒

  • 1篇人工晶体学报

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
全选 清除 导出
排序方式：
衬底温度对直流磁控溅射法制备掺锆氧化锌透明导电薄膜性能的影响(英文)被引量：11
2010年
利用直流磁控溅射法在石英衬底上制备出了高透明导电的掺锆氧化锌(ZnO:Zr)薄膜。研究了衬底温度对ZnO:Zr薄膜结构、形貌及光电性能的影响。XRD表明实验中制备的ZnO:Zr为六方纤锌矿结构的多晶薄膜,具有垂直于衬底方向的c轴择优取向。实验所制备ZnO:Zr薄膜的晶化程度和导电性能对衬底温度有很强的依赖性。当衬底温度为300℃时,ZnO:Zr薄膜具有最小电阻率7.58×10-4Ω.cm,其可见光平均透过率超过了91%。
张化福刘瑞金刘汉法陈钦生王新峰梅玉雪
关键词：衬底温度直流磁控溅射
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0