曹永海
- 作品数：3 被引量：6H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十九研究所更多>>
- 相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
- 基于光楔的F-P干涉型压力传感器光学解调技术研究
- 2014年
- 针对法布里—珀罗干涉型压力传感器进行光学解调技术研究,采用以双折射光楔为核心的白光偏振干涉系统对传感干涉系统进行解调,利用不同尺寸光楔设计对比实验并进行加压检测,确定传感系统与解调系统匹配的具体设计方法。
- 曹永海王伟李秀茹王世宁桂永雷
- 关键词：白光
- 基于原子扩散的蓝宝石芯片键合技术研究被引量：3
- 2016年
- 本文基于原子扩散理论模型,试图介绍一种蓝宝石芯片直接键合技术,给出一定扩散距离下键合温度与键合时间的关系;开展了蓝宝石芯片键合的试验研究;初步制作了键合样品。经测试,键合强度达到0.5 MPa,验证了蓝宝石芯片直接键合的可行性。
- 吴亚林王世宁曹永海王伟史鑫
- 关键词：原子扩散直接键合
- 一种基于感声波纹结构的光学式声传感器被引量：3
- 2014年
- 设计了一种基于硅MEMS敏感结构的光学式声传感器,其光学调制原理采用强度调制型,微敏感结构采用具有低应力波纹结构的感声薄膜芯片。对光纤与微敏感结构耦合技术进行实验研究,优化光学参数,并制作传感器样品。经实验测试,灵敏度达80mV/Pa。
- 于洪峰王伟王世宁史鑫曹永海桂永雷
- 关键词：微机电系统光学检测声传感器灵敏度
