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  • 2篇中文期刊文章

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主题

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机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇文彬
  • 1篇姚东媛
  • 1篇李艳杰
  • 1篇谢胜秋
  • 1篇邹向光
  • 1篇高成臣

传媒

  • 2篇传感器技术

年份

  • 1篇2004
  • 1篇2003
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
微型风速风向传感器研制被引量:9
2003年
阐述了微型风速风向传感器的工作原理,结构设计及工艺研究,该传感器采用硅微机械加工技术制成微悬桥结构,将加热电阻器与感温电阻器排布在悬桥上,降低了功耗,提高了传感器灵敏度,实现低风速风场测量。
李艳杰高成臣文彬
关键词:风向风速传感器
硅-蓝宝石压力传感器芯片调整电阻的设计被引量:3
2004年
介绍了硅-蓝宝石压力传感器芯片外延硅层上调整电阻的设计和应用,通过设计调整电阻来实现芯片的电桥平衡,达到了调整其输出特性、改善传感器性能、提高芯片适用性的目的。
姚东媛文彬谢胜秋邹向光
共1页<1>
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