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张宏丁
作品数:
1
被引量:1
H指数:1
供职机构:
西安交通大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
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合作作者
刘学鹏
西安交通大学
郝晓红
西安交通大学
马腾
西安交通大学
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机构
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西安交通大学
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马腾
1篇
郝晓红
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刘学鹏
1篇
张宏丁
传媒
1篇
微细加工技术
年份
1篇
2003
共
1
条 记 录,以下是 1-1
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纳米加工平台X-Y方向运动的数模控制策略
被引量:1
2003年
介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析。根据力学方程建立了纳米加工平台的X Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并对数模两环反馈控制进行了研究,提出了无加速度感应器的内环控制和模糊控制外环方法。仿真结果表明,该模型具有较高的动态性能和稳定性。
刘学鹏
郝晓红
张宏丁
马腾
关键词:
电磁力
PID
模糊控制
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