张乾
- 作品数：8 被引量：11H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信电气工程理学一般工业技术更多>>
- 曝光剂量精度误差分析研究被引量：1
- 2022年
- 曝光剂量精度是光刻工艺中重要的控制参数,从剂量控制模型出发,分析了影响剂量精度的因素并建立误差模型,进一步将需求指标分解到各误差项,作为剂量控制系统的设计输入;通过试验测试剂量精度和重复精度满足设计需求,验证了剂量误差模型的准确性。
- 高爱梅宫晨张乾黄晓鹏
- 连续光与脉冲光的跨阻电路设计
- 2023年
- 在连续光和脉冲光的光强检测电路中,使用跨阻放大器(TIA)将输入光电流转换为电压信号输出。对这两种应用的设计原理进行了详细分析和仿真,找出跨阻增益的计算方法,得出连续光的跨阻增益与反馈电阻有关系,而脉冲光的跨阻增益与反馈电容有关系,对实际应用场景提供了理论支撑。
- 谭立杰吴爽张乾武震
- 关键词：积分电路
- 直线电机原理及其在精密工作台中的应用被引量：5
- 2017年
- 激光划切机能在高速加工情况下切割LED晶圆获得干净的断裂面,形成窄而深的激光划切槽,要达到这样的工艺效果就要求激光划切工作平台同时具有较高的响应速度、准确的定位精度以及重复精度。首先对直线电机的原理进行研究,根据其外形特点不同进行分类,通过对比为精密工作台系统选择合适的直线电机类型,建立动力学数学模型,研究直线电机在精密工作台系统的应用。
- 张乾谭立杰程秀全张永昌
- 关键词：直线电机动力学模型精密工作台
- 半导体加工设备主动隔振仿真和实验研究被引量：1
- 2024年
- 针对半导体加工设备设计了一种主动隔振策略.分析了隔振机构的内部垂向参数特性并建立了隔振机构动力学模型.由于半导体加工设备的隔振装置由基座、隔振机构和由隔振机构支撑的各个部件组成,因此隔振机构动力学模型将基座、隔振机构、支撑组件看作二级隔振系统来模拟隔振装置.为隔振机构设计了自抗扰控制和绝对速度反馈控制联合的控制算法.搭建了基于半导体加工设备用隔振机构和控制算法的仿真模型,给出了传递率和顺应度两个重要指标.最后通过实验验证主动隔振策略的性能.对比隔振率和顺应度两个指标,证明了设计的控制算法效果优于常用控制算法.
- 王三霞柳滨张乾王俊杰刘帅
- 关键词：主动隔振自抗扰控制传递率
- 基于加速度计前馈控制的主动抑振方法被引量：1
- 2024年
- 超精密运动台作为半导体设备的核心部件,其伺服精度与主动抑振能力直接决定了半导体设备的性能.针对超精密运动台高速运动时,测量基准因动力学特性受到机器内部噪声的激励而产生振动,导致超精密运动台在这些模态下跟随误差变大的问题,本文研究了一种基于加速度计前馈控制的主动抑振方法,利用加速度计对被测对象加速度信号实时采集的特性精准测量谐振频点,使用相位延迟滤波器解决信号延迟,并通过设计前馈控制器对振动信号进行有效衰减.以实验室设备为例,通过MATLAB等软件进行数据处理与仿真验证,以及整机性能验证,确认基于加速度计前馈控制的主动抑振方法对解决高频振动引起伺服误差较差的有效性、可靠性与可行性.
- 陈曦张乾肖楠陈瑶瑶
- 关键词：加速度计前馈控制器
- 成像物镜集成公差分配与定心装调技术研究
- 2022年
- 针对高分辨率对准成像镜头对装配误差的严苛要求,提出了一种成像物镜装配公差分配和定心装调技术以满足光学系统集成要求。以分辨率为2μm的成像物镜为例,分析了影响光学镜头成像质量的误差来源,进行了公差仿真分析和加工公差分配。集成测试过程中以中心偏差测量仪为辅助工具,进行了镜组光轴精确校准,其光轴偏心小于20μm,光轴倾斜小于144″。最后将集成结果数据代入光学仿真软件进行像质分析并实测图像结果进行对比分析。结果表明:运用该方法,各镜片间的光轴偏心误差和倾斜误差能够匹配公差分配要求,成像效果满足镜头像质需求。
- 李星辰武震高爱梅申淙张乾
- 直线电机伺服控制系统研究被引量：2
- 2018年
- 通过直线电机的伺服控制分析,研究了伺服控制策略;以激光划切工作台为应用平台,针对x向电机位置环进行深入分析来解决实际问题,并根据激光划切机性能指标要求设计xy精密工作台运动控制系统,实现工作台的精密控制。
- 张乾谭立杰宋婉贞陈国兴
- 关键词：直线电机伺服控制
- 激光划片机的晶圆自动对准方法研究被引量：2
- 2018年
- 针对激光划片机的自动化生产需求,通过图像识别与模板匹配策略,在底部对准的激光划片机上实现GPP晶圆的自动旋转对位,并通过建立网格节点的方式计算划片轨迹,实现晶圆正面图形的自动识别与划片。
- 张乾张永昌邓胜强谭立杰
- 关键词：图像识别
