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侯德胜

作品数：63 被引量：141H指数：6
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家重点实验室开放基金国家自然科学基金中国科学院重点实验室基金更多>>
相关领域：电子电信机械工程自动化与计算机技术一般工业技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 27篇期刊文章
  • 21篇专利
  • 14篇会议论文

领域

  • 34篇电子电信
  • 5篇机械工程
  • 3篇自动化与计算...
  • 3篇一般工业技术
  • 2篇理学
  • 1篇文化科学

主题

  • 32篇光刻
  • 21篇掩模
  • 21篇激光
  • 14篇相移掩模
  • 9篇激光直写
  • 9篇光刻技术
  • 8篇全息
  • 7篇衰减相移掩模
  • 7篇微光刻
  • 7篇光刻掩模
  • 7篇防伪
  • 7篇半导体
  • 6篇电路
  • 6篇微光刻技术
  • 6篇激光直写系统
  • 6篇集成电路
  • 6篇防伪标识
  • 5篇准分子激光光...
  • 5篇刻蚀
  • 5篇激光光刻

机构

  • 62篇中国科学院
  • 2篇电子科技大学
  • 1篇四川大学
  • 1篇四川师范学院
  • 1篇西昌学院
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 62篇侯德胜
  • 33篇冯伯儒
  • 24篇张锦
  • 14篇杜春雷
  • 13篇赵泽宇
  • 8篇周崇喜
  • 7篇陈芬
  • 7篇王永茹
  • 7篇孙方
  • 6篇刘强
  • 4篇潘丽
  • 3篇董小春
  • 3篇林大键
  • 3篇邓启凌
  • 2篇谌贵辉
  • 2篇张万里
  • 2篇姚汉民
  • 2篇李志华
  • 2篇苏平
  • 2篇邱传凯

传媒

  • 14篇光电工程
  • 6篇微细加工技术
  • 2篇光学学报
  • 2篇第十二届全国...
  • 2篇第十一届全国...
  • 2篇第五届全国光...
  • 2篇全国光电技术...
  • 1篇中国防伪
  • 1篇中国机械工程
  • 1篇光子学报
  • 1篇激光杂志
  • 1篇世界产品与技...
  • 1篇第七届全国固...
  • 1篇第十二届全国...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇第五届全国光...

年份

  • 2篇2010
  • 1篇2009
  • 7篇2006
  • 4篇2005
  • 5篇2004
  • 3篇2003
  • 2篇2002
  • 7篇2001
  • 8篇2000
  • 10篇1999
  • 7篇1997
  • 1篇1996
  • 1篇1993
  • 1篇1990
  • 2篇1989
  • 1篇1987
共 63 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
微光刻技术的发展被引量：29
2000年
阐述了光刻技术的发展及其分辨极限 ,对准分子激光光刻技术及其发展作了比较详细的论述。
冯伯儒张锦侯德胜陈芬
关键词：微光刻技术准分子激光光刻集成电路
光致抗蚀剂薄膜在光刻掩膜制作中的应用
该文介绍光致抗蚀剂薄膜在光刻掩模制作中的一种新的应用，即用光致抗蚀剂薄膜来制作光刻用的衰减相移掩模。介绍这种新方法的原理和制作工艺，并将制作的光致抗蚀剂衰减相移掩模用于krF准分子激光投影光刻曝光实验，得出了显著提高光刻...
侯德胜孙方
关键词：光致抗蚀剂光刻掩模衰减相移掩模分辨力
激光干涉测长法
本发明公开了一种半导体激光端点干涉测长法,它克服了现有激光干涉测长法要求测量元件必须从长度的起始点沿直线连续移动到终止点,并对移动过程中干涉条纹的变化量进行计数,测量过程中若受到异物遮挡光线等干扰将导致测量结果无效的缺点...
侯德胜
相移掩模和光学邻近效应校正光刻技术被引量：25
2001年
详细地论述了相移掩模提高光刻分辨力和改善焦深的原理。介绍了光学邻近效应校正方法。
冯伯儒张锦侯德胜周崇喜苏平
关键词：相移掩模光学邻近效应校正光刻技术
显微定位加力观测板
本发明公开一种全新的显微定位加力观测板，由用于显微定位及比较观察的微结构层和用于承载加力板的基底组合而成，通过微结构层的图形或标注对比观察判断被观察物大小、形状，实现定位观测。本发明用微细加工的方法制作不同形状的微结构或...
邓启凌杜春雷李志华潘丽侯德胜
用光致抗蚀剂膜层制作衰减相移掩模
2001年
提出一种用光致抗蚀剂膜层制作单层结构衰减相移掩模的新方法 ,介绍这种方法的原理和制作工艺 ,并给出这种方法制作的衰减相移掩模用于准分子激光光刻实验 ,得到显著提高光刻分辨力的实验结果。
侯德胜冯伯儒孙方张锦
关键词：光致抗蚀剂衰减相移掩模分辨力光刻
亚分辨图形相移掩模的制作方法
2001年
介绍亚分辨图形掩模的原理、应用及具有亚分辨图形的相移掩模和传统掩模的制作方法和工艺。
冯伯儒张锦陈宝钦侯德胜苏平
用银盐干板的多重图像全息存贮被引量：1
1987年
本文叙述用银盐全息干板记录多重全息光栅和图像的方法、实验系统和装置,给出了实验结果,并与硫砷玻璃多重图像存贮作了比较。
侯德胜冯伯儒
关键词：全息干板全息存贮银盐全息光栅
采用微光刻技术制作缩微汉字的方法
采用微光刻技术制作缩微汉字的方法，利用微光刻技术中的光刻掩模制作工艺，首先通过计算机输入汉字，再用光刻掩模制版设备将缩微汉字图案曝光到匀胶铬版上，然后经过显影、腐蚀、去胶等工艺，在铬版上形成缩微汉字图案。此技术突破了现有...
侯德胜赵泽宇刘强
缩微文字平板放大镜
缩微文字平板放大镜，由透明基板上的微透镜阵列构成，能够对排列成阵列状态的缩微文字及图案进行放大。将缩微文字平板放大镜叠放在制作有缩微文字或图案阵列的图案上，转动观察，能够见到缩微文字或图案被连续变倍放大的现象，能够清楚放...
侯德胜赵泽宇刘强
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