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钟飞

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 2篇电子束
  • 2篇电子束光刻
  • 2篇圆形阵列
  • 2篇阵列
  • 2篇数据量
  • 2篇线条
  • 2篇纳米
  • 2篇纳米阵列
  • 2篇光刻

机构

  • 2篇中国科学院

作者

  • 2篇董艳
  • 2篇曾春红
  • 2篇周健
  • 2篇钟飞
  • 2篇王逸群
  • 2篇时文华

年份

  • 1篇2012
  • 1篇2010
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
一种电子束光刻加工圆形阵列的方法
本发明涉及一种电子束光刻加工圆形规则阵列的方法。旨在减小加工弧形线条时的数据量，从而缩短数据处理的时间。本发明充分利用了高斯型束斑矢量扫描式电子束光刻机的工作模式特点，通过设置特定的扫描步长以及曝光剂量，得到不同直径，不...
时文华钟飞王逸群曾春红董艳周健
一种电子束光刻加工圆形阵列的方法
本发明涉及一种电子束光刻加工圆形阵列的方法。旨在减小加工弧形线条时的数据量，从而缩短数据处理的时间。本发明充分利用了高斯型束斑矢量扫描式电子束光刻机的工作模式特点，通过设置特定的扫描步长以及曝光剂量，得到不同直径，不同间...
时文华钟飞王逸群曾春红董艳周健
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