白占旗
- 作品数：37 被引量：54H指数：4
- 供职机构：浙江蓝天环保高科技股份有限公司更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术经济管理更多>>
- 一种改性的吸附剂及其在超高纯六氟乙烷制备中的应用
- 本发明公开了一种经过离子交换法、球磨法或浸渍法进行改性的吸附剂，所述吸附剂选自A型分子筛、X型分子筛、Y型分子筛、SiO<Sub>2</Sub>、Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>或活性炭AC。本发明...
- 张金柯白占旗齐海徐娇何双材胡欣
- 文献传递
- 三氟碘甲烷刻蚀性能和应用研究进展被引量：2
- 2018年
- 三氟碘甲烷由于其优良的蚀刻性能和安全环保的特性,是未来用于制造超大规模集成电路器件的精密刻蚀工艺极具潜力的氟碳类刻蚀气体的替代品。介绍了三氟碘甲烷的理化性质,综述了含氟化合物的蚀刻机制及三氟碘甲烷在蚀刻方面的优良性能和应用研究进展。
- 曾群白占旗刘武灿何双材张金柯胡欣缪光武杜肖宾
- 关键词：三氟碘甲烷刻蚀含氟化合物
- 氮气吸附技术在气体纯化中的应用研究进展
- 介绍了吸附法脱除N2的工业应用，包括空分行业中O2/N2分离、煤层气和天然气中CH4的浓缩、高纯气中N2的深度脱除以及制N2工艺.N2的吸附脱除工艺主要采用PSA技术，吸附剂主要包括天然及合成沸石分子筛、改性分子筛(离子...
- 齐海张金柯白占旗刘武灿
- 关键词：氮气分子筛空分高纯气
- HFC-161制备技术开发研究
- 采用乙烯和AHF为原料氢氟化反应制备HFC-161,工艺简便可行,原料来源丰富,价格便宜,反应转化率和收率较高,时空产率理想。本反应在低温低压下进行,节约能源,生产的产品杂质含量低,易于分离精制,基本无三废产生,属绿色化...
- 白占旗
- 关键词：氟乙烷乙烯AHF
- 文献传递
- 高纯四氟化硅的制备技术研究进展
- 2019年
- 四氟化硅是一种有机硅化合物合成材料,被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。本文介绍了四氟化硅常用制备方法及其优缺点,列举了四氟化硅的纯化方法。在实际生产过程中,企业需根据自身实际生产情况选择合理的生产路线,结合制备工艺中杂质种类,选择合适纯化方法,获得高纯四氟化硅产品。
- 缪光武张金柯白占旗何双材曾群胡欣刘武灿
- 关键词：四氟化硅纯化电子气体
- 八氟环丁烷的纯化技术研究进展被引量：1
- 2019年
- 随着电子工业的迅速发展,八氟环丁烷作为常用的半导体工艺蚀刻或清洗气体,其需求量日益增加,对其纯度要求也越来越苛刻。总结了现有应用最为广泛的四种八氟环丁烷纯化技术:精馏技术、吸附技术、化学转化法、膜分离技术,分析四种纯化技术各自优缺点。在实际生产中,根据八氟环丁烷中所含杂质的种类,选择合适纯化技术联用来获得高纯八氟环丁烷。此外,应不断开发新型、高效电子气体纯化技术,促进我国电子气体行业的发展。
- 缪光武张金柯白占旗何双材胡欣曾群杜肖宾刘武灿张波
- 关键词：纯化技术电子气体
- 一种氟乙烷的制备方法
- 本发明公开了一种氟乙烷的制备方法，将乙烯以连续鼓泡方式与液相无水氟化氢接触，在无催化剂或催化剂存在下发生反应生成氟乙烷。其鼓泡方式可采用乙烯通过气体分布器在HF液相中扩散，也可采用其他能使气体与液体充分接触的方法来实现。...
- 白占旗柳彩波黄瑛
- 文献传递
- 一种气体中CO<Sub>2</Sub>的吸附方法
- 本发明提供一种气体中CO<Sub>2</Sub>的吸附方法，所述的吸附方法为：通过碱金属离子改性ZSM‑5分子筛作为吸附剂，对低浓度CO<Sub>2</Sub>气体的电子气体进行吸附，所述电子气体中CO<Sub>2</S...
- 张波白占旗丁元胜周金兵杜肖宾张金柯缪光武卢永康金佳敏何双财胡欣
- 文献传递
- 1,1,1,3,3—五氯丁烷的制备方法
- 本发明涉及一种高转化率、高选择性、催化剂和物料可回收利用的1，1，1，3，3—五氯丁烷的制备方法。它是将四氯化碳和2-氯丙烯加成，其主要特点在于该方法在溶剂、铜盐和胺存在下进行。为了溶解催化剂，对反应物和最终产物呈惰性的...
- 陈慧闯张伟华张飞云罗伟刚杜肖宾白占旗
- 文献传递
- 一种改性的吸附剂及其在超高纯一氟甲烷制备中的应用
- 本发明公开了一种经过离子交换法、球磨法或浸渍法进行改性的吸附剂，所述吸附剂选自A型分子筛、X型分子筛、Y型分子筛、SiO<Sub>2</Sub>、Al<Sub>2</Sub>O<Sub>3</Sub>或活性炭AC。本发明...
- 张金柯白占旗齐海何双材徐娇胡欣
- 文献传递
