王雪辉
- 作品数：2 被引量：16H指数：1
- 供职机构：苏州大学信息光学工程研究所更多>>
- 发文基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划更多>>
- 相关领域：理学机械工程电子电信更多>>
- 用激光直写制作光束整形元件的实验研究
- 2004年
- 利用迭代傅里叶算法优化得到了特定衍射图样的位相结构,分析讨论了采用单光束激光直写系统进行逐点光刻制作2个台阶二元光学元件位相掩模的基本原理,并给出了实验结果和实验误差分析,从而为发展一种制作周期短、成本低,且无对准误差的二元光学元件的制作方法提供了一种可能。
- 徐兵王雪辉陈林森魏国军
- 关键词：激光直写光束整形二元光学元件光刻
- 一种二元整形元件激光直写方法的实验研究被引量：16
- 2005年
- 为了实现具有复杂位相结构的二元光束整形元件,提出了采用方光点的激光直写系统来逐点光刻浮雕位相结构的方法,通过双远心投影缩微光路获得5～20 μm方点,光点尺寸对应于最小位相单元,从而获得了位相结构的高质量直写. 分析了高斯光点和方光点位相单元结构对二元整形元件衍射效率的影响,方形两台阶二元整形元件的+1级衍射效率达到31%,给出了实验结果.
- 陈林森邵洁王雪辉徐兵解剑峰沈雁
- 关键词：二元光学衍射激光直写
