李长珍
- 作品数：2 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国建筑材料科学研究院更多>>
- 相关领域：化学工程电子电信更多>>
- 基材温度对铟锡氧化物膜结构与电性能的影响被引量：2
- 2000年
- 采用阴极磁控溅射法 ,在不同基片温度 (180～ 30 0℃ )条件下镀覆铟锡氧化物 (ITO)透明导电膜 .由X射线衍射分析试样结构随温度的变化 ,并测试了样品的方块电阻、电阻率、Hall迁移率、载流子浓度等电性能和膜层的可见光透过率 .基片温度为 180℃时 ,ITO膜 (2 2 2 )衍射峰很强 ,具有 [111]方向择优取向 ;随温度的升高 ,(40 0 )、(44 0 )衍射峰增强 ,晶面随机取向增加 ,同时晶粒变大 ,电阻率降低 .30 0℃时晶粒尺寸为 43 .5nm ,电阻率为 6 .8× 10 - 5 Ω·cm .
- 刘静李秀荣李长珍
- 关键词：磁控溅射基片温度电性能镀膜
- 高频电磁屏蔽用ITO膜结构与性能分析被引量：7
- 2000年
- 采用阴极磁控溅射法制备用于电磁屏蔽的 ITO透明导电膜 ,方块电阻在 5～ 40 Ω/□范围内。测试不同方块电阻膜层的电阻率、膜厚、可见光透光度、雾度、对 8～ 18GHZ频率范围内电磁波的反射率等性能 ,通过 X射线衍射图谱和 X射线回摆曲线研究膜层的结晶程度和晶粒大小对膜层性能的影响 。
- 李秀荣刘静李长珍
- 关键词：磁控溅射镀膜玻璃
