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姜春光

作品数：3 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：中国科学院科研装备研制项目更多>>
相关领域：机械工程理学自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 2篇椭偏仪
  • 2篇宽光谱
  • 2篇光谱
  • 2篇成像
  • 1篇深紫外
  • 1篇椭偏测量
  • 1篇光学

机构

  • 2篇合肥工业大学
  • 1篇中国科学院微...

作者

  • 2篇姜春光
  • 1篇刘涛
  • 1篇纪峰
  • 1篇李国光
  • 1篇熊伟
  • 1篇谌雅琴

传媒

  • 1篇光电工程

年份

  • 1篇2016
  • 1篇2015
共 3 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
深紫外宽光谱成像椭偏仪的研制
成像椭偏测量是具有高横向分辨率的椭偏测量技术。它能实现同时对样品表面光学成像的每个像元进行椭偏测量，进而获得材料物理参数（例如，膜厚、折射率、消光系数、表面微粗糙度、合成材料中的组分比例等）及其空间分布，是一种测量速度快...
姜春光
文献传递
全反射式宽光谱成像椭偏仪被引量：1
2016年
本论文采用全反射式光学聚焦结构,通过独特的偏振控制技术,实现宽光谱、无色差成像椭偏仪的研制。在系统校准过程中采用多样品校准方法,利用校准得到的系统参数对待测样品进行成像椭偏分析,确定样品椭偏角ψ和s及薄膜厚度的空间分布。为测试自制成像椭偏仪的准确性,本文对3 nm^300 nm的Si O2/Si样品在200 nm^1 000 nm内多波长下进行成像椭偏测量。实验结果表明,Si O2薄膜厚度最大相对测量误差小于6%。
姜春光谌雅琴刘涛熊伟李国光纪峰
关键词：椭偏测量
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