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韩思恩

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：华中理工大学物理系更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

主题

  • 1篇等离子体

机构

  • 1篇华中理工大学

作者

  • 1篇王均震
  • 1篇韩思恩
  • 1篇刘洪祥
  • 1篇刘祖黎
  • 1篇刘艳红

传媒

  • 1篇第九届全国等...

年份

  • 1篇1999
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
等离子体薄膜沉积中荷能量粒子的作用
利用蒙特卡罗方法初步研究了低能量粒子（＜100eV）对原子沉积薄层的影响。此作用我们简化为两部分：瞬时的局域溅射效应；持续宏观加温作用。
王均震刘祖黎刘洪祥刘艳红韩思恩
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