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陈进新

作品数：124 被引量：28H指数：3
供职机构：中国科学院光电研究院更多>>
发文基金：国家科技重大专项更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 116篇专利
  • 8篇期刊文章

领域

  • 8篇电子电信
  • 6篇自动化与计算...
  • 5篇机械工程
  • 5篇理学
  • 2篇轻工技术与工...
  • 2篇一般工业技术
  • 2篇文化科学

主题

  • 21篇极紫外
  • 19篇密封
  • 19篇分压
  • 17篇激光
  • 15篇法兰
  • 14篇光刻
  • 13篇紫外光刻
  • 13篇辐照
  • 12篇质谱计
  • 12篇紫外
  • 12篇紫外辐照
  • 12篇污染
  • 12篇激光器
  • 11篇真空
  • 10篇放电
  • 9篇液滴
  • 9篇真空计
  • 9篇质谱
  • 9篇碎屑
  • 9篇漏率

机构

  • 124篇中国科学院光...
  • 4篇中国科学院大...
  • 1篇中国科学院
  • 1篇中国科学院研...

作者

  • 124篇陈进新
  • 103篇王宇
  • 96篇吴晓斌
  • 88篇王魁波
  • 75篇张罗莎
  • 75篇罗艳
  • 41篇周翊
  • 37篇崔惠绒
  • 15篇赵江山
  • 13篇丁金滨
  • 13篇刘斌
  • 10篇张立佳
  • 8篇王宇
  • 4篇李慧
  • 3篇齐威
  • 3篇沙鹏飞
  • 1篇徐向宇
  • 1篇徐向宇
  • 1篇张鑫

传媒

  • 4篇激光与光电子...
  • 1篇空间科学学报
  • 1篇光学学报
  • 1篇振动与冲击
  • 1篇真空科学与技...

年份

  • 1篇2023
  • 1篇2021
  • 5篇2019
  • 7篇2018
  • 22篇2017
  • 28篇2016
  • 17篇2015
  • 15篇2014
  • 19篇2013
  • 6篇2012
  • 1篇2009
  • 2篇2008
共 124 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法
本发明公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元。本发明还提出了测试材料辐射致放气量的两种方法：动态法和质谱法，均可在线实时测试，其中使用动...
罗艳吴晓斌王魁波陈进新谢婉露张罗莎
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一种准分子激光器用贯流风机叶轮
一种准分子激光器用贯流风机叶轮，由若干节叶轮组成，叶轮的两端各连接一端法兰，每节叶轮之间均有一中盘，每两个中盘之间固定有周向布置的若干片风叶，每节叶轮中相邻的两片风叶之间呈一角度排列。本发明改善了叶轮中风叶的布局方式，可...
丁金滨刘斌陈进新王宇周翊赵江山
真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法
本发明公开了一种真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法，该测量系统包括超高真空室(2)、测试室(6)、样品室(7)，超高真空室(2)与测试室(6)通过小孔(4)相连通，测试室(6)通过气体管道(14)与样品室(7)相连接...
王魁波吴晓斌王宇陈进新张罗莎罗艳谢婉露
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一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置
本发明公开了一种液滴阵列产生装置，包括转鼓、旋转驱动机构及外壳，其中，转鼓用于接收液料，旋转驱动机构带动转鼓转动，使液料成为一系列液滴，一系列液滴经过外壳后，产生高输出频率、高初速度、尺寸稳定的微米级液滴阵列。该装置能够...
张罗莎王宇吴晓斌王魁波罗艳陈进新谢婉露丁功明
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一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法
本发明公开了一种材料辐射致放气的在线测试装置，所述装置包括真空腔室系统、辐射腔室系统、抽气系统、供气系统、检测组件和数控采集单元。本发明还提出了测试材料辐射致放气量的两种方法：动态法和质谱法，均可在线实时测试，其中使用动...
罗艳吴晓斌王魁波陈进新谢婉露张罗莎
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一种准分子激光器用贯流风机叶轮
一种准分子激光器用贯流风机叶轮，由若干节叶轮组成，叶轮的两端各连接一端法兰，每节叶轮之间均有一中盘，每两个中盘之间固定有周向布置的若干片风叶，每节叶轮中相邻的两片风叶之间呈一角度排列。本发明改善了叶轮中风叶的布局方式，可...
丁金滨刘斌陈进新王宇周翊赵江山
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一种用于极紫外光刻机的动态气体锁
本发明公开了一种动态气体锁，特别适用于极紫外光刻机。动态气体锁的主体为筒状，具有两个开口端，其轴向的中部位置具有一隔板将内部空间隔成两个腔室。隔板上开有外气流通道连通两个腔室。外气流通道侧面的隔板内有内气流通道，清洁气体...
陈进新崔惠绒张立佳谢婉露吴晓斌王宇
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一种用于激光光源的液态金属靶产生装置
本发明公开了一种液态金属靶产生装置，其能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括：用于存储液态金属靶材料的储液箱，储液箱的底端与一个导管相连通；腔体，位于所述储液箱的下方，使得所述导管穿过腔体的上部进入腔体内部，以至于...
王宇张罗莎吴晓斌陈进新王魁波罗艳谢婉露
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材料分压放气率测量系统及其测量方法
本发明公开了一种材料分压放气率测量系统及其测量方法，系统包括抽气泵组、超高真空室、测试室、两个质谱计、两个角阀和样品室，抽气泵组用于对超高真空室抽真空，样品室用于放置样品，测试室通过小孔与超高真空室连接，两个质谱计分别与...
王魁波吴晓斌王宇陈进新罗艳谢婉露张罗莎
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一种液基阻尼器
一种液基阻尼器，其结构为：一液缸，为一端密封，另一端为开口的缸体；一活塞，置于该缸体内，其活塞杆的顶部设有法兰盘，朝向缸体的开口端；一橡胶套，其外缘密封地固定于缸体开口端的周边，该橡胶套的中心孔固定于活塞杆的法兰盘边缘，...
陈进新王宇
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