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熊康林
作品数:
35
被引量:10
H指数:2
供职机构:
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
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发文基金:
江苏省自然科学基金
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相关领域:
电子电信
理学
一般工业技术
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合作作者
杨辉
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
黄增立
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
陆书龙
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
张永红
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
任雪勇
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿...
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熊康林
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杨辉
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自支撑微纳米结构及其制作方法
本发明公开了一种自支撑微纳米结构的制作方法,包括:在衬底上形成牺牲层以及覆盖牺牲层的功能层;在功能层上预设图案化区域,在图案化区域内进行图案化处理,以在功能层中形成露出部分牺牲层的图案部;其中,部分牺牲层为图案化区域在牺...
黄永丹
熊康林
黄增立
许蕾蕾
孙骏逸
冯加贵
武彪
丁孙安
陆晓鸣
文献传递
兼容真空环境的图形转移的方法及系统
本发明公开了一种兼容真空环境的图形转移的方法及系统。所述的方法包括如下步骤:提供无机掩膜版,其包括依次设置在基底上的第一无机掩膜版和第二无机掩膜版;在第二无机掩膜版上加工形成图形,至少以选择性气相刻蚀工艺将所述图形转移至...
熊康林
陆晓鸣
黄增立
徐蕾蕾
冯加贵
李坊森
丁孙安
杨辉
文献传递
用于超导量子计算的滤波器、量子比特读取装置
本发明提供了一种用于超导量子计算的滤波器,其包括:信号输入馈线、电容器、第一传输线、第二传输线以及信号输出馈线,所述信号输入馈线、所述电容器、所述第一传输线以及所述第二传输线依序串联,所述信号输出馈线连接在所述第一传输线...
周翼彪
熊康林
冯加贵
滤波屏蔽装置及防杂散光干扰的量子处理系统
本发明提供了滤波屏蔽装置及防杂散光干扰的量子处理系统,其中,所述滤波屏蔽装置包括合围形成有内部容纳空间的滤波屏蔽外壳,所述滤波屏蔽外壳包括叠层设置的第一偏振层和第二偏振层,第一偏振层的偏振方向与所述第二偏振层的偏振方向相...
孙骏逸
熊康林
陆晓鸣
黄永丹
冯加贵
武彪
丁孙安
文献传递
氮化硅介电层的制作方法、约瑟夫森结及超导量子比特
本发明公开了一种氮化硅介电层的制作方法、约瑟夫森结及超导量子比特,所述氮化硅介电层的制作方法包括:在衬底上沉积硅薄膜;对所述硅薄膜进行氮化处理以形成第一氮化硅薄膜;利用等离子体辅助分子束外延共沉积法在所述第一氮化硅薄膜上...
冯加贵
武彪
熊康林
孙骏逸
黄永丹
郑明昊
丁孙安
陆晓鸣
文献传递
一种二能级缺陷空间分布的测量方法及测量装置
本发明公开了一种二能级缺陷空间分布的测量方法及测量装置,该二能级缺陷空间分布的测量方法包括:对超导量子比特施加偏置磁场,并获取所述超导量子比特的频率‑偏置磁通的关系曲线;通过二能级缺陷空间分布的测量装置的扫描探针输出的局...
冯加贵
武彪
熊康林
孙骏逸
黄永丹
丁孙安
陆晓鸣
芮芳
基于全金属板谐振腔的谐振器
本发明公开了一种基于全金属板谐振腔的谐振器,包括多个侧板,所述多个侧板拼接形成封闭的谐振腔,其中,所述侧板为金属板。本发明的谐振器的谐振腔的每个表面均可以达到较低的表面粗糙度,并且腔体表面对微波的损耗较小,腔体表面可以实...
孙骏逸
熊康林
陆晓鸣
黄永丹
冯加贵
武彪
丁孙安
文献传递
一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用
本发明公开了一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括:将Si(111)衬底依次进行有机清洗、RCA1清洗、RCA2清洗、piranha溶液清洗及HF清洗,获得预处理后的Si(111)衬底;在真空条件下,将...
武彪
冯加贵
熊康林
陈建
孙骏逸
黄永丹
朱博杰
丁孙安
陆晓鸣
文献传递
耐超声空气桥及其制作方法
提供了一种耐超声空气桥的制作方法,所述制作方法包括:在沉积面上制作形成空气桥;其中,所述空气桥包括:与所述沉积面接触的桥墩部,以及跨接于所述桥墩部上的桥身部;在所述桥墩部和所述沉积面上制作形成加固部。还提供了一种耐超声空...
周翼彪
熊康林
冯加贵
一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用
本发明公开了一种大面积铝单晶薄膜及其制备方法与应用。所述制备方法包括:将Si(111)衬底依次进行有机清洗、RCA1清洗、RCA2清洗、piranha溶液清洗及HF清洗,获得预处理后的Si(111)衬底;在真空条件下,将...
武彪
冯加贵
熊康林
陈建
孙骏逸
黄永丹
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