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桑青
作品数:
4
被引量:1
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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相关领域:
机械工程
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合作作者
章海军
浙江大学
李甸
浙江大学
张冬仙
浙江大学
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高分辨率
机构
4篇
浙江大学
作者
4篇
桑青
3篇
张冬仙
3篇
李甸
3篇
章海军
年份
1篇
2014
1篇
2013
2篇
2012
共
4
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一种三扫描器原子力显微扫描检测装置
本发明公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法,同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫...
章海军
桑青
张冬仙
李甸
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一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置
本发明公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测方法及装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法,同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫...
章海军
桑青
张冬仙
李甸
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一种三扫描器原子力显微扫描检测装置
本实用新型公开了一种三扫描器原子力显微扫描检测装置。采用样品扫描和探针扫描相结合的检测方法,同时实现轻小型样品和较大较重样品的高精度微纳米检测。它具有由探针扫描与光电检测单元、样品扫描单元及二维步进扫描单元等组成的三扫描...
李甸
桑青
章海军
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新型多扫描器原子力显微镜技术及系统
微纳米技术越来越成为当今世界科技发展的前沿之一,对现代科学技术的发展和社会进步起到重大的推动作用。原子力显微镜(AFM)与扫描隧道显微镜(STM)等超高分辨率仪器已经成为纳米领域里不可缺少的重要工具,尤其是AFM因其不受...
桑青
关键词:
原子力显微镜
高分辨率
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