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曹春

作品数：1 被引量：2H指数：1
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合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇评价函数
  • 1篇膜厚
  • 1篇宽光谱
  • 1篇光谱
  • 1篇薄膜厚度

机构

  • 1篇西安电子科技...
  • 1篇西安工业学院

作者

  • 1篇韩军
  • 1篇尚小燕
  • 1篇曹春

传媒

  • 1篇西安工业学院...

年份

  • 1篇2004
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
薄膜厚度宽带监控中评价函数的修正被引量：2
2004年
　在镀膜过程中,采用宽光谱实时监控薄膜厚度的方法,评价函数的准确计算关系到薄膜厚度的最终监控结果.而薄膜材料的吸收会引起评价函数的失真.本文采用软件的方法,在镀下一层之前,对其评价函数中的理论透射比作以修正,消除已镀层吸收对其的影响,由此逐层进行直至结束.实验结果表明,薄膜厚度监控误差可以达到10-3以下,效果良好,完全可以满足实际需要.
韩军尚小燕曹春
关键词：宽光谱评价函数
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共1页<1>
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