您的位置： 专家智库 > >

徐明

作品数：3 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院声学研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇科技成果
  • 1篇会议论文

领域

  • 3篇电子电信

主题

  • 3篇传声器
  • 2篇传声
  • 1篇电容传声器
  • 1篇压电薄膜
  • 1篇实用化研究
  • 1篇微麦克风
  • 1篇麦克风
  • 1篇硅微电容传声...
  • 1篇硅
  • 1篇MEMS

机构

  • 3篇中国科学院

作者

  • 3篇汪承灏
  • 3篇魏建辉
  • 3篇徐明
  • 3篇黄歆
  • 3篇解述
  • 2篇梁勇
  • 2篇李伯权
  • 2篇田静
  • 2篇李俊红
  • 2篇徐联
  • 2篇马军
  • 2篇金国华
  • 2篇乔东海
  • 1篇何世堂
  • 1篇杨楚威

年份

  • 2篇2004
  • 1篇2002
共 3 条 记 录，以下是 1-3
全选 清除 导出
排序方式：
硅微压电薄膜传声器的制备
＜正＞ 1 引言近几年来,随着硅技术的不断发展,硅基微机电系统（MEMS）在许多领域成为科学研究的热点[1][2]。利用硅基微加工工艺加工制作的MEMS器件不仅体积小、重量轻,而且具有与集成电路工艺兼容的特点,使之与传统...
杨楚威黄歆解述魏建辉徐明汪承灏
文献传递
基于MEMS的微麦克风实用化研究
田静徐联汪承灏乔东海马军魏建辉解述李俊红李伯权黄歆金国华徐明梁勇刘忠远张荣
我们利用中国科学院声学研究所在微传声器、超声电子学和薄膜技术的研究和技术的长期积累，调研了大量的文献、专利和资料，进行了硅微传声器的设计和原理分析，创新地提出圆形振动膜结构，制定了技术路线和实施工艺流程，并且在实践中改进...
关键词：
关键词：MEMS传声器麦克风
硅微电容传声器
田静汪承灏刘忠立徐联马军乔东海于芳金国华魏建辉解述李伯权刘焕章李俊红黄歆徐明梁勇何世堂
“声学微机电系统”项目共设“硅微电容传声器”与“微声可开关滤波器组模块”两个课题，“硅微电容传声器”课题在理论分析和大量关键工艺实验的基础上，在国内率先实现了新形振动膜结构的传声器，避免了以往结构设计中带来的应力集中的缺...
关键词：
关键词：电容传声器
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0