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张杨
作品数:
1
被引量:5
H指数:1
供职机构:
东北大学
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发文基金:
辽宁省自然科学基金
博士科研启动基金
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相关领域:
理学
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合作作者
陈文
东北大学
李敖
东北大学
王晓冬
东北大学
王瑞
东北大学
王庆
东北大学
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真空科学与技...
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1篇
2013
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郎穆尔探针低温低压等离子体诊断
被引量:5
2013年
基于Orbital Motion Limit(OML)离子收集理论,建立了等离子体参数与朗缪尔探针电流、电压之间的函数关系。将MATLAB作为编程工具,编制计算程序,采用多重滤波方法消除朗缪尔探针对等离子体产生的干扰。分析不同滤波方法对探针电流、电子电流、电子电流的一阶和二阶微分等朗缪尔探针诊断数据滤波的影响,与自行设计的数字实验结果进行对比,选择最优滤波方法,以提高朗缪尔探针的诊断精度。
王晓冬
张杨
王庆
李敖
王瑞
陈文
关键词:
等离子体诊断
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