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余画洋
作品数:
1
被引量:42
H指数:1
供职机构:
兰州大学物理科学与技术学院等离子体与金属材料研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
吴志国
兰州大学物理科学与技术学院等离...
徐建伟
兰州大学物理科学与技术学院等离...
刘维民
中国科学院兰州化学物理研究所
韩修训
中国科学院兰州化学物理研究所
阎鹏勋
兰州大学物理科学与技术学院等离...
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金属学及工艺
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作者
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阎逢元
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余画洋
1篇
刘维民
1篇
徐建伟
1篇
吴志国
传媒
1篇
摩擦学学报(...
年份
1篇
2002
共
1
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两种物理气相沉积氮化钛涂层的结构及摩擦性能研究
被引量:42
2002年
分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了 Ti N涂层 ,采用 X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征 ;利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度 ;在 DF- PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能 .结果表明 :与采用直流磁控溅射法在 40 0℃基底上制备的 Ti N涂层相比 ,采用磁过滤沉积装置在室温下制备的 Ti N涂层更加致密 ,表面平滑 ,最大硬度达 3 5 GPa,摩擦系数明显较小 ( 0 .1~ 0 .4) 。
韩修训
阎鹏勋
阎逢元
刘维民
余画洋
徐建伟
吴志国
关键词:
物理气相沉积
氮化钛涂层
纳米压入
PVD
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