于晓梅
- 作品数：6 被引量：21H指数：3
- 供职机构：北京航空航天大学数学与系统科学学院更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国航空科学基金国家留学基金更多>>
- 相关领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
- PECVD法生长纳米硅薄膜的压敏特性被引量：5
- 1996年
- 使用常规的ＰＥＣＶＤ等离子体增强化学汽相沉积）沉积技术成功地制备出具有纳米相结构的硅薄膜，并研究了以玻璃和单晶硅为衬底材料纳米硅薄膜的压阻特性．测得两种衬底材料制备的样品均有很高的压力灵敏度系数Ｋ，其值可以达到８０，退火后Ｋ值会增加，电阻随压力呈良好的线性关系，但有较大滞后．并对样品的受力情况及测试结果进行了简单的分析．本文对ｎｃ－Ｓｉ：Ｈ薄膜力敏器件的设计和制造将有重要的参考价值．
- 于晓梅何宇亮李雪梅余明斌
- 关键词：硅膜压力灵敏度纳米硅
- 纳米Si薄膜的结构及压阻效应被引量：9
- 1996年
- 使用ＨＲＥＭ及ＳＴＭ技术检测了纳米Ｓｉ薄膜的微结构纳米Ｓｉ薄膜由大量的细微Ｓｉ晶粒以及大量的晶粒间界面区组成．这一特殊的结构造成纳米Ｓｉ薄膜具有较大的压阻效应及较高氢含量．本文分析讨论了薄膜微结构对其压阻效应的作用。
- 何宇亮林鸿溢武旭辉余明斌于晓梅王珩李冲
- 关键词：压阻效应微结构硅薄膜纳米硅薄膜
- 掺磷纳米硅薄膜的微结构被引量：5
- 2002年
- 采用喇曼 (Raman)散射谱、高分辨率电子显微镜 (HRTEM)和原子力显微镜 (AFM)对掺磷纳米硅薄膜的微结构进行了分析 ,并对纳米硅薄膜的传导机制进行了探讨 .结果表明 :掺磷纳米硅薄膜由尺寸为 2～ 4nm的晶粒和 2～ 3个原子层厚的非晶界面构成 ,计算得到薄膜的晶态比为 40 %～ 5 5 % .与本征纳米硅薄膜相比 ,掺磷纳米硅薄膜晶粒尺寸和晶态比没有明显变化 ,电导率却提高了 2个数量级 .随着掺磷浓度增加 ,纳米硅薄膜的晶粒尺寸、晶态比及电导率逐渐增大 .AFM观察表明掺磷纳米硅薄膜由尺寸介于 1 5～ 2 0nm的团簇构成 。
- 于晓梅王金良江兴流王天民
- 关键词：硅薄膜团簇晶态
- 微悬臂梁传感器的信号和噪声优化
- 硅微悬梁传感器是原子力显微镜的基础上发展起来的一种高灵敏度器件,这种结构的传感器由于其体积小、灵敏度高,近年来在生化传感器领域倍受关注.单晶硅是制备半导体传感器最具代表性的材料之一,被多数悬梁研究小组采用.非晶硅、微晶硅...
- 于晓梅
- 关键词：悬臂梁纳米硅薄膜
- 文献传递
- 硅压阻输出微传感器的1/f噪声被引量：1
- 2001年
- 从理论和实验上系统地讨论了压阻输出微传感器的噪声 .选用了单晶硅、非晶硅、多晶硅和微晶硅四种材料作为压阻材料 ,设计了 16种不同尺寸的力敏 Wheastone电桥 ,并对器件分别进行了两种不同浓度的掺杂和两种不同条件的退火 ,共获得 2 5 6种压阻输出的微传感器 .测量所有器件的噪声 ,并对噪声谱进行理论分析 ,实验结果表明单晶硅具有最低的 1/ f 噪声和 Hooge因子 (α)的值 ,而非晶硅略好于微晶硅和多晶硅 .几何尺寸大的力敏电阻具有低的 1/ f 噪声 ,但 α值不受器件尺寸的影响 .掺杂浓度增加 10倍时 ,不同器件的 1/ f 噪声降低介于35 %— 5 0 %之间 .相比 95 0℃、10 m in退火条件 ,10 5 0℃、30 m in的高温长时间退火的器件 ,其 1/ f 噪声降低约 6 5 % .
- 于晓梅江兴流J.ThaysenO.HansenA.Boisen
- 关键词：微传感器
- 纳米硅薄膜的电致发光和光致发光探索被引量：2
- 1995年
- 自从多孔硅的光致发光被报道以来,引起人们的极大关注,这方面的研究得到很大的发展。关于其发光机理,文献[2～4]分别作了解释,目前还存在一定分歧,但人们已经普遍认为量子限制效应在起重要作用,同时表面态也有一定作用。另一方面,虽然多孔硅有很强的发光,但其发光稳定性却一直不能得到很好解决,而且多孔硅的制备为湿法工艺,与传统的硅平面工艺相差甚远,这给多孔硅的进一步发展和应用带来很大困难.Veprek等报道了对非晶硅进行高温下氧气氛中后退火处理,使非晶硅薄膜中形成小颗粒晶粒。
- 何宇亮余明斌万明芳李雪梅徐士杰刘湘娜于晓梅郑厚植罗晋生魏希文戎霭伦
- 关键词：纳米硅电致发光光致发光
