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高扬
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
上海大学
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相关领域:
机械工程
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合作作者
周鹏飞
上海大学
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高扬
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周鹏飞
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激光与红外
年份
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1991
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离子辅助镀膜技术及其应用
被引量:4
1991年
离子辅助淀积技术对于改进光学薄膜的性质、改善薄膜的微结构、应力状态与表面形貌具有良好效果,从而得到许多具有新机能的薄膜。本文讲述丁离子辅助镀膜的实验装置,说明了使用此工艺镀制ZrO_2,薄膜样品的参数,并给出了光学特性测量、牢固度测量、表面形貌与划痕的实验结果。
周鹏飞
高扬
陈桂莲
关键词:
光学薄膜
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