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文献类型

  • 1篇期刊文章
  • 1篇学位论文
  • 1篇科技成果

领域

  • 3篇电子电信
  • 1篇机械工程
  • 1篇理学

主题

  • 1篇纳米
  • 1篇纳米压印
  • 1篇宽幅
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻技术
  • 1篇幅面
  • 1篇闭环
  • 1篇闭环控制
  • 1篇大幅面

机构

  • 3篇苏州大学

作者

  • 3篇解正东
  • 2篇周小红
  • 2篇魏国军
  • 2篇陈林森
  • 1篇叶燕
  • 1篇沈雁
  • 1篇朱志坚
  • 1篇吴智华
  • 1篇周望
  • 1篇周雷
  • 1篇毛利华
  • 1篇邵洁
  • 1篇方宗豹
  • 1篇浦东林
  • 1篇张恒
  • 1篇解剑锋
  • 1篇申溯
  • 1篇周云
  • 1篇郭锡平
  • 1篇汪振华

传媒

  • 1篇激光杂志

年份

  • 3篇2007
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
宽幅衍射图像激光干涉直写系统的设计及应用
随着激光全息技术及其应用的发展,对衍射图像激光干涉直写系统的性能提出了越来越高的要求。 本课题在苏州大学高精度、小幅面衍射图像激光直写系统(HoloMaker-Ⅲ)的基础上,对原有系统中多个关键环节,尤其是机械...
解正东
关键词:闭环控制光刻技术
文献传递
亚波长光学制造技术研究与产业化应用
陈林森沈雁魏国军邵洁周小红郭锡平朱志坚解正东浦东林叶燕周云解剑锋汪振华毛利华周望吴智华申溯方宗豹张恒周雷
一、项目来源1、国家自然科学基金(04年~07年):非周期性位相调制的衍射光栅的光场分布与特性的研究,编号:104740702、江苏省六大人才高峰计划(03~05年):3D激光直写系统软硬件研究与应用。3、江苏省“青蓝工...
关键词:
大幅面点阵素面彩虹全息的实现方法
2007年
本文提出了一种采用正交干涉实现宽幅点阵素面彩虹全息的方法。将正交光栅作为分光器件,采用自行研制的SVG.HoloScanV大幅面扫描光刻系统,在光刻胶面逐单元进行曝光,形成最终面积610mm×800mm点阵素面彩虹全息图。这种方法避开了传统拍摄中大门径透镜和大面积全息台,是实现大面积、数字化素面彩虹制作的有效手段。
解正东陈林森魏国军周小红
共1页<1>
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