荆翠妮
- 作品数:3 被引量:9H指数:2
- 供职机构:哈尔滨工业大学机电工程学院更多>>
- 发文基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划广东省国际科技合作项目更多>>
- 相关领域:机械工程金属学及工艺更多>>
- 陶瓷球表面类金刚石碳膜均匀沉积机构设计及运动仿真被引量:1
- 2012年
- 在Si3N4陶瓷球表面沉积低摩擦因数的类金刚石碳膜,可以进一步降低陶瓷球轴承的摩擦因数。为了在陶瓷球表面均匀沉积类金刚石碳膜,设计了三沟道单自转盘和三自转盘两种镀膜机构,并且对陶瓷球在工装中的运动进行了仿真,在此基础上讨论了两种机构的镀膜均匀性。三沟道单自转盘镀膜机构的镀膜均匀性较好,该机构能在陶瓷球表面沉积均匀的类金刚石碳膜。
- 张传伟荆翠妮古乐马欣新
- 关键词:碳膜陶瓷材料计算机仿真
- 氮化硅表面沉积DLC膜的均匀性与摩擦学特性研究
- 在航空航天工业、空间技术迅速发展的今天,用于改造工作表面的新型固体润滑材料应运而生。类金刚石碳膜是一种高硬度、低摩擦系数、高耐磨性及高化学稳定性的新型薄膜材料,作为固体润滑膜在航空航天、微型电子机器等领域越来越受到重视。...
- 荆翠妮
- 关键词:氮化硅陶瓷类金刚石碳膜均匀性
- 文献传递
- 氮化硅陶瓷表面DLC膜的制备及摩擦性能研究被引量:5
- 2010年
- 利用等离子体基离子注入与沉积技术,在氮化硅陶瓷片表面制备200~400nm的类金刚石碳膜。测试薄膜的厚度、表面形貌、结构、膜基结合力,利用球盘试验机考察DLC膜的摩擦性能。结果表明:沉积薄膜均匀光滑;薄膜的硬度和弹性模量与基体差异较小,膜基结合力强;DLC膜具有较低的摩擦因数,抗磨性能优异。
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- 关键词:DLC膜