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文献类型

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领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇数值模拟
  • 2篇值模拟
  • 1篇大直径
  • 1篇单晶
  • 1篇直拉硅
  • 1篇直拉硅单晶
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  • 1篇热屏
  • 1篇硅单晶
  • 1篇

机构

  • 2篇北京有色金属...

作者

  • 2篇翟立君
  • 1篇王学锋
  • 1篇王敬
  • 1篇戴小林
  • 1篇周旗钢
  • 1篇吴志强

传媒

  • 1篇稀有金属

年份

  • 2篇2004
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
直径300mm硅单晶生长过程的热场模拟
本文对直径300mm晶体生长热场进行了数值模拟,并模拟计算了晶体生长过程中单晶炉内的氩气流动情况.热场的模拟计算结果与实验测量的结果基本一致,较好地模拟了单晶炉内的热场分布情况.通过对氩气流动情况的模拟分析,更好地了解了...
翟立君
关键词:热屏数值模拟
文献传递
大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟被引量:14
2004年
数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具。提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟 ,通过对3 0 0mm单晶炉内热场的数值模拟计算 ,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密度分布。
王学锋翟立君周旗钢王敬戴小林吴志强
关键词:直拉硅单晶数值模拟
共1页<1>
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