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翟立君
作品数:
2
被引量:14
H指数:1
供职机构:
北京有色金属研究总院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
吴志强
北京有色金属研究总院
周旗钢
北京有色金属研究总院
戴小林
北京有色金属研究总院
王敬
北京有色金属研究总院
王学锋
北京有色金属研究总院
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作者
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翟立君
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王学锋
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王敬
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戴小林
1篇
周旗钢
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吴志强
传媒
1篇
稀有金属
年份
2篇
2004
共
2
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直径300mm硅单晶生长过程的热场模拟
本文对直径300mm晶体生长热场进行了数值模拟,并模拟计算了晶体生长过程中单晶炉内的氩气流动情况.热场的模拟计算结果与实验测量的结果基本一致,较好地模拟了单晶炉内的热场分布情况.通过对氩气流动情况的模拟分析,更好地了解了...
翟立君
关键词:
热屏
数值模拟
文献传递
大直径直拉硅单晶炉热场的数值模拟
被引量:14
2004年
数值模拟技术已经成为分析和发展工业化晶体生长工艺必不可少的工具。提出了直拉硅单晶生长过程温度分布的有限元模拟 ,通过对3 0 0mm单晶炉内热场的数值模拟计算 ,得出了晶体生长不同阶段的单晶炉内温度分布及相应的温度梯度和热流密度分布。
王学锋
翟立君
周旗钢
王敬
戴小林
吴志强
关键词:
直拉硅单晶
数值模拟
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