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王海波

作品数：4 被引量：0H指数：0
供职机构：滨州职业学院更多>>
相关领域：电子电信化学工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇期刊文章
  • 2篇专利

领域

  • 1篇化学工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 2篇SIC
  • 2篇表面处理
  • 1篇等离子体处理
  • 1篇调节阀
  • 1篇智能温度
  • 1篇智能温度控制
  • 1篇智能温度控制...
  • 1篇室温
  • 1篇数字温度
  • 1篇数字温度传感...
  • 1篇碳化
  • 1篇碳化硅
  • 1篇退火
  • 1篇暖气
  • 1篇氢等离子体
  • 1篇氢气
  • 1篇温度传感器
  • 1篇温度控制
  • 1篇温度控制系统
  • 1篇量调节

机构

  • 4篇滨州职业学院

作者

  • 4篇王海波
  • 1篇殷广丽
  • 1篇袁媛
  • 1篇王雅玡

传媒

  • 1篇黑龙江科技信...
  • 1篇科技资讯

年份

  • 2篇2012
  • 2篇2011
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
用于碳化硅表面处理的水冷却装置
本实用新型提供了一种用于碳化硅表面处理的水冷却装置，用于碳化硅晶片在碳化硅表面氢等离子体处理后的冷却，它有冷却室，冷却室内有环状的中空托架，中空托架与推臂固定在一起，中空托架内腔两端分别与推臂内的隔板分隔出的进水腔体、回...
王海波袁媛王雅玡
文献传递
SiC表面的氢等离子体处理技术
2011年
我们采用ECR-PEMOCVD等离子体系统在200℃下对SiC表面进行了氢处理。处理前后我们对SiC表面做了RHEED和XPS分析。通过分析我们发现经过氢等离子体处理的SiC表面比传统湿法的SiC表面平整度更高,C/C-H的含量显著下降,抗氧化能力显著提高提高。
王海波
关键词：SIC氢等离子体ECRRHEEDXPS
基于暖气流量调节的智能温度控制系统
本实用新型提供了基于暖气流量调节的智能温度控制系统，包括电源、数字温度传感器、ARM9处理器、键盘、鼠标、步进电机控制器和用以驱动流量调节阀的步进电机，所述电源分别与ARM9处理器和数字温度传感器相连，所述ARM9处理器...
殷广丽王海波
文献传递
SiC表面的氢钝化
2011年
本文在对比SiC和Si结构差别的基础上,总结了当今现在比较流行的氢钝化工艺,如沸水、沸氟化氢、氢气退火、等离子体处理等,并简要介绍了各自工艺的特点和不足。
王海波
关键词：SIC表面处理氢气退火
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