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张宇峰
作品数:
3
被引量:17
H指数:1
供职机构:
浙江大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
一般工业技术
电气工程
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合作作者
张溪文
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
韩高荣
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
任兆杏
中国科学院等离子体物理研究所
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IBAD
1篇
磁光
1篇
磁光材料
1篇
磁光性能
机构
3篇
浙江大学
1篇
中国科学院等...
作者
3篇
张宇峰
2篇
韩高荣
2篇
张溪文
1篇
任兆杏
传媒
1篇
材料导报
年份
1篇
2005
1篇
2004
1篇
2003
共
3
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相关度排序
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一种制备无机化合物薄膜的装置
本实用新型的制备无机化合物薄膜的装置由电子束蒸发装置、基板和感应耦合等离子源构成,感应耦合等离子源包括ICP发射装置、匹配网络、射频电源和流量计,其中电子束蒸发装置、ICP发射装置和衬底置于同一真空室内。工作时,电子束蒸...
张溪文
韩高荣
张宇峰
文献传递
稀土铁石榴石薄膜的制备及磁光性能测试
在高速、大容量单模光纤通信系统中,波分复用技术已被广泛采用,光纤光隔离器成为不可缺少的关键器件。从材料科学研究的角度来看,必须设法提高作为隔离器核心的磁光材料的性能。由于掺Bi稀土铁石榴石在可见及近红外区能显著地增强磁光...
张宇峰
关键词:
磁光材料
磁光性能
文献传递
离子束辅助薄膜沉积
被引量:17
2003年
离子束辅助沉积(IBAD)是在气相沉积的同时辅以离子束轰击的薄膜制备方法,可在低温下合成致密、均匀的薄膜。介绍了IBAD技术的概况,列举了具体应用领域,描述了射频ICP离子源辅助电子束蒸发,最后对IBAD的前景加以评论。
张宇峰
张溪文
任兆杏
韩高荣
关键词:
IBAD
等离子体
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