廖明杰
- 作品数：9 被引量：3H指数：1
- 供职机构：电子科技大学更多>>
- 发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：理学机械工程医药卫生自动化与计算机技术更多>>
- 一种超高深宽比微型气相色谱柱及其MEMS加工方法
- 本发明公开了一种超高深宽比微型气相色谱柱及其MEMS加工方法，该微型气相色谱柱包括多层硅和玻璃，形成一个底层，若干个中间层和一个顶层，利用干法刻蚀技术在各个中间层中形成图案相同的镂空的垂直沟槽，而在底层和顶层中形成半刻蚀...
- 杜晓松廖明杰王力熊丽霞谢光忠蒋亚东
- 文献传递
- 微型气相色谱柱的研制
- 色谱技术以其分离效率高，分析速度快，选择性高，分析样品用量少等众多优点，目前已成为一种相当成熟且应用广泛的分离分析方法。近年来随着半导体器件制作工艺、芯片加工技术、精细微加工手段等一系列新兴技术的不断成熟化，各种微型气相...
- 廖明杰
- 关键词：气相色谱柱微电子机械系统技术参数刻蚀工艺
- 文献传递
- 无线温湿度传感器网络图示化演示系统软件设计被引量：1
- 2008年
- 在已有无线温湿度传感器网络硬件平台的基础上,设计了一种无线传感器网络演示软件。该软件提供了多种图示化接口,包括数据管理、节点曲线、拓扑显示和数据收发状况显示等功能,使用户能更便捷地获取传感数据,在此基础上进行网络性能分析及网络优化,并给出了平台主要功能模块的实现方法。
- 蔡玉婷谢光忠廖明杰
- 关键词：无线传感器网络拓扑显示温度
- 一种高深宽比微型气相色谱柱及其湿法腐蚀制作方法
- 本发明公开了一种高深宽比微型气相色谱柱及其湿法腐蚀制作方法，该微型气相色谱柱系在(110)单晶硅基板上制作折线形的色谱沟槽，折线的长、短边夹角为70.53°，分别沿着基板的<110>和<112>晶...
- 杜晓松王力廖明杰蒋亚东
- 基于MEMS技术的微型气相色谱柱的研究进展被引量：2
- 2011年
- 微型气相色谱柱是基于MEMS技术的微型分析化学器件,主要用于混合化学组分的分离,采用MEMS技术制作的微型气相色谱柱在体积上得到了极大的缩小,便于集成到便携式设备中,其次,微型器件带来更小的热容量,因而能在更小的功耗下获得更快的升温速率,从而加快了分析速度,进而改进了器件的整体性能。针对MEMS微型气相色谱柱的研究现状,重点从色谱柱材料选择、柱身布局及其柱内结构、制作工艺、固定相选择及涂敷方式进行了综合分析比较。
- 廖明杰王力杜晓松谢光忠胡佳蒋亚东
- 关键词：气相色谱气体探测微机电系统涂敷
- 一种体硅刻蚀和金硅键合复合工艺方法
- 本发明公开了一种体硅刻蚀和金硅键合复合工艺方法，包括以下步骤：首先在第一硅片上形成金的掩模图形，然后利用金掩模对第一硅片进行干法刻蚀或者湿法腐蚀，形成体硅微结构，最后将第二硅片置于上述已形成图形结构的第一硅片上，进行金硅...
- 杜晓松廖明杰王力蒋亚东严炎郝敏
- 一种体硅刻蚀和金硅键合复合工艺方法
- 本发明公开了一种体硅刻蚀和金硅键合复合工艺方法，包括以下步骤：首先在第一硅片上形成金的掩模图形，然后利用金掩模对第一硅片进行干法刻蚀或者湿法腐蚀，形成体硅微结构，最后将第二硅片置于上述已形成图形结构的第一硅片上，进行金硅...
- 杜晓松廖明杰王力蒋亚东严炎郝敏
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- 无线温湿度传感器网络图示化演示系统软件设计
- 在已有无线温湿度传感器网络硬件平台的基础上,设计了一种无线传感器网络演示软件.该软件提供了多种图示化接口,包括数据管理、节点曲线、拓扑显示和数据收发状况显示等功能,使用户能更便捷地获取传感数据,在此基础上进行网络性能分析...
- 蔡玉婷谢光忠廖明杰
- 关键词：无线传感器网络软件设计
- 文献传递
- 一种高深宽比微型气相色谱柱及其湿法腐蚀制作方法
- 本发明公开了一种高深宽比微型气相色谱柱及其湿法腐蚀制作方法，该微型气相色谱柱系在(110)单晶硅基板上制作折线形的色谱沟槽，折线的长、短边夹角为70.53°，分别沿着基板的<110>和<112>晶...
- 杜晓松王力廖明杰蒋亚东
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