刘鲁勤
- 作品数：7 被引量：13H指数：2
- 供职机构：航天总公司更多>>
- 发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
- 相关领域：电子电信机械工程兵器科学与技术理学更多>>
- 用于改善PtSi红外焦平面阵列器件响应特性的长焦距GaAs微透镜阵列器件的制作研究(英文)
- 2001年
- 提出了一种新的曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作。扫描电子显微镜 ( SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜的焦距可达到 3 861.70 μm,而常规光刻热熔法很难制作出焦距超过 2 0 0μm的相同尺寸的微透镜阵列。微透镜阵列器件与红外焦平面阵列器件在红外显微镜下对准胶合 。
- 何苗易新建程祖海刘鲁勤王英瑞
- 关键词：GAAS离子束刻蚀响应特性曲率补偿焦距
- 舰载反导跟踪算法与模型分析被引量：7
- 2000年
- 反舰导弹构成了现代舰艇的严重威胁 ,对反舰导弹精确跟踪是反导防御成功的重要前提。针对比例制导的飞航式反舰导弹弹道的特点和机动特征 ,提出了跟踪此类目标的两种新算法———基于自适应模型的算法和基于自适应交互多模型的算法。仿真实验证明 ,这两种各具特点的算法都有足够的适用性能。
- 高文春张岩龙腾刘鲁勤
- 关键词：反舰导弹自适应跟踪算法计算机模拟
- 凹型Si微透镜阵列的制作被引量：2
- 2002年
- 提出了一种新的曲率倒易法首次成功地在Si衬底上制作出 6 4× 2 5 6凹柱面折射微透镜阵列 ,扫描电子显微镜 (SEM)显示微透镜阵列为表面轮廓清晰的凹柱面阵列 ,表面探针测试结果显示凹微透镜阵列表面光滑、单元重复性好 ,其平均凹深为 2 .6 43μm ,凹深非均匀性为 8.45 % ,平均焦距为 - 47.0 8μm .
- 何苗易新建程祖海刘鲁勤王英瑞
- 关键词：SI硅
- 大F数硅微透镜阵列的制作及光学性能测试研究被引量：4
- 2000年
- 提出了一种补偿刻蚀法 :在经过常规光刻热熔成形和离子束刻蚀技术制成的硅微透镜阵列上再涂敷几层光刻胶 ,以降低各单元微透镜的曲率 ,然后再次进行加热固化和离子束刻蚀。扫描电子显微镜 ( SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的球冠形阵列 ,表面探针测试结果显示用补偿刻蚀法制作的微透镜的 F数和 F′数分别可达到 31.62和 35.88,而常规光刻热熔法很难制作出 F数和 F′数分别超过 1.0 0和 4 .0 0的微透镜阵列。光学填充因子也由常规方法的 64.3%提高至78.5% 。
- 何苗易新建程祖海黄光刘鲁勤
- 关键词：微透镜阵列硅
- 长焦距Si微透镜阵列的制作及点扩散函数测量
- 2000年
- 针对用常规光刻热熔法制作折射型微透镜阵列的过程中 ,临界角效应严重制约了长焦距微透镜阵列制作问题 ,提出了曲率补偿法 :在经过常规光刻热熔成形和离子束刻蚀技术制成的硅微透镜阵列上再涂敷几层光刻胶 ,以降低各单元微透镜的曲率 ,然后再次进行加热固化和离子束刻蚀 .扫描电子显微镜 (SEM )显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱面阵列 ,表面探针测试结果显示用补偿刻蚀法制作的微透镜的物方F数和像方F′数分别可达到 49.2 6和 5 3 .5 2 。
- 何苗易新建黄光刘鲁勤
- 关键词：微透镜阵列光刻胶点扩散函数长焦距硅
- PtSiIRCCD器件用长焦距Si微透镜阵列的制作研究(英文)
- 2001年
- 为了改善 Pt Si IRCCD器件的红外响应特性 ,需要添加长焦距微透镜阵列进行焦平面集光 ,本文提出了一种新的方法—曲率补偿法用于长焦距微透镜阵列的制作 .扫描电子显微镜 (SEM)显示微透镜阵列为表面极为平缓的方底拱形阵列 ,表面探针测试结果显示用曲率补偿法制作的微透镜阵列表面光滑 ,单元重复性好 ,其焦距可达到 685.51 μm.微透镜阵列器件与 Pt Si IRCCD器件在红外显微镜下对准胶合 ,显著改善了 IRCCD器件的光响应特性 .
- 何苗易新建张新宇刘鲁勤
- 关键词：微透镜阵列硅化铂
- 小F数衍射微透镜阵列光学性能研究
- 2001年
- 本文基于小光点扫描 ,在国内首次提出了一种测试小 F数衍射微透镜阵列光学性能的方法 .利用光通信用半导体激光器和探测器建立了一套测试系统 ,并对所研制的大阵列 ,小单元尺寸的多相位菲涅耳衍射微透镜阵列的衍射效率和点扩散函数进行了测试 .结果表明 ,衍射微透镜实际衍射光斑比理论衍射受限光斑扩展不大 ,8相位和 1 6相位石英微透镜的衍射效率分别高达 80 .2 %和 87.5 % ,说明本实验室对多相位的设计理论和制作工艺已基本掌握 。
- 陈四海易新建刘鲁勤何苗孔令斌
- 关键词：衍射效率点扩散函数二元光学红外焦平面阵列
