万军
- 作品数：16 被引量：18H指数：3
- 供职机构：武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北省重点实验室更多>>
- 发文基金：武汉市青年科技晨光计划湖北省自然科学基金湖北省科技攻关计划更多>>
- 相关领域：理学一般工业技术电子电信化学工程更多>>
- 一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置
- 本发明是一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置。该方法是：先利用微波激励产生电子回旋共振等离子体，再利用离子回旋谐振加热将高频功率耦合到等离子体中的离子成分中，将离子的动力学温度升高到10～40eV，然后利用引出电极和梯度磁...
- 马志斌汪建华何艾华万军王传新毛家龙
- 文献传递
- 脉冲电弧放电电离甲醇溶液制备碳膜的研究被引量：4
- 2003年
- 利用脉冲电弧放电电离甲醇溶液在常压下研究了含金刚石成分的碳膜的制备。用扫描电子显微镜(SEM)、傅里叶红外光谱(FT-IR)、激光Raman光谱和X射线衍射(XRD)研究了在确定的基片温度下甲醇浓度以及放电电压等沉积条件对薄膜的形貌和金刚石的合成的影响。研究结果表明:在放电电压低于2kV时,薄膜主要由无序石墨和无定形碳组成。提高放电电压有助于金刚石的合成,在高的放电电压下,降低甲醇溶液浓度有利于提高碳膜中金刚石成分的含量。
- 马志斌万军张文文汪建华王升高
- 关键词：电离碳膜金刚石薄膜石墨
- 脉冲电弧放电电离甲醇/氨水溶液合成结晶氮化碳薄膜被引量：2
- 2004年
- 利用脉冲电弧放电在大气压下产生的高密度等离子体研究了结晶氮化碳薄膜的低温合成。直流脉冲电弧等离子体由甲醇/氨水溶液液滴通过高压电极时诱导放电产生。利用扫描电子显微镜、X射线衍射、Raman光谱分析了薄膜样品的形貌和结构。在基片温度为450℃时所制样品的X射线衍射分析表明薄膜中含有α C3N4和β C3N4两种结构晶体,Raman光谱给出了明显的特征峰,这些特征峰与氮化碳晶体的理论预言值符合较好。当基片温度提高到550℃时,Raman光谱分析表明,样品为炭膜。
- 马志斌万军黄杨风汪建华
- 关键词：电离
- 液相电沉积金刚石薄膜的研究进展
- 2004年
- 评述了液相沉积(类)金刚石薄膜的研究现状,介绍了液相合成(类)金刚石薄膜的装置、液态源及薄膜的性能,分析了如何更好地提高(类)金刚石薄膜质量,并在此基础上提出了一种可能制备出高质量金刚石薄膜的脉冲电弧放电沉积装置。
- 万军马志斌
- 关键词：金刚石薄膜电流密度乙醇
- 高氮含量氮化碳微粉的制备被引量：4
- 2006年
- 利用常压脉冲电弧等离子体在氮气氛下裂解二氰二胺有机晶体制备含C-N键的碳氮前驱物,然后将该前驱物置于微波氮等离子体中处理,研究了具有高氮含量氮化碳微粉的合成。采用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、傅里叶红外光谱(FTIR)和X射线光电子能谱(XPS)分析了样品的形貌、成分和结构。研究结果表明:在电弧等离子体的作用下二氰二胺分子发生断键,得到碳氮直接相连的分子碎片吸附在微晶二氰二胺上。样品经脉冲电弧等离子体多次处理,其中的二氰二胺有机晶体结构被破坏,主要产物为含sp3C-N单键的非晶态碳氮化合物。非晶态的碳氮化合物在微波氮等离子体的作用下重组结晶,XPS分析表明样品表面主要由非晶碳和含有大量sp3C-N单键的高氮含量的碳氮结构组成,XRD分析表明碳氮微粉中有β-C3N4晶体相的存在。
- 万军马志斌曹宏汪建华
- 关键词：氮化碳微波等离子体
- 一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置
- 本发明是一种抛光大面积金刚石膜的方法和装置。该方法是：先利用微波激励产生电子回旋共振等离子体，再利用离子回旋谐振加热将高频功率耦合到等离子体中的离子成分中，将离子的动力学温度升高到10～40eV，然后利用引出电极和梯度磁...
- 马志斌汪建华何艾华万军王传新毛家龙
- 文献传递
- 氮化碳晶体的合成研究进展被引量：3
- 2006年
- 新型超硬材料β-C3N4自从理论预言其硬度有可能超过金刚石以及优异的性能以后成为各国科学家研究的热点.目前在理论计算和实验合成方面都已取得了一定的进展.本文介绍了氮化碳薄膜的合成方法、表征手段及薄膜质量,分析了氮化碳晶体制备中存在的一些困难,并对今后的研究重点作了展望.
- 万军马志斌
- 关键词：超硬材料氮化碳
- 在石英圆管内或外壁镀(类)金刚石薄膜的方法及装置
- 本发明提供了在石英圆管内外壁镀金刚石或类金刚石薄膜的方法及装置。本方法是先利用微波激励工作气体放电在两个同轴放置的石英圆管之间产生圆筒状的等离子体，再利用等离子体化学气相沉积技术在内石英管的外壁或外石英管的内壁镀金刚石或...
- 马志斌汪建华万军何艾华张磊
- 文献传递
- 在石英圆管内或外壁镀(类)金刚石薄膜的方法及装置
- 本发明提供了在石英圆管内外壁镀金刚石或类金刚石薄膜的方法及装置。本方法是先利用微波激励工作气体放电在两个同轴放置的石英圆管之间产生圆筒状的等离子体，再利用等离子体化学气相沉积技术在内石英管的外壁或外石英管的内壁镀金刚石或...
- 马志斌汪建华万军何艾华张磊
- 文献传递
- 制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置
- 本发明是一种制备结晶氮化碳薄膜的方法及装置。其方法是：在氮气氛下，用脉冲电弧放电方式，将溶液在常压和脉冲电压2～30KV下，诱导电极产生脉冲电弧放电，使溶液电离成含碳、氮的等离子体，冲向并沉积在基板(6)上，制得结晶氮化...
- 马志斌万军汪建华王卫红
- 文献传递
